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硅烷中混入氮?dú)鈺趺礃?/a>
硅烷燃燒過程中加入氮?dú)獠粌H提高產(chǎn)物純度,還能減少有害氣體排放,增加硅的產(chǎn)量。氮?dú)夤?yīng)方式主要有液氮和氣態(tài)氮,通過儲罐和壓縮機(jī)提供。加氮技術(shù)在硅烷生產(chǎn)中具有重要的應(yīng)用前景。更多 +
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