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混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體的不同
電子混合氣體和計(jì)量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn),但又有許多不同,電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外,更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì),換言之,電子混合氣體必須要確?;旌虾玫臍怏w中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線,也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。 1、電子混合氣體的氣瓶處理 同其他氣體不同,對(duì)盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格,否則,即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高,穩(wěn)定性再好也無(wú)更多 +
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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、 控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極 強(qiáng),CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超 凈和多品種、多規(guī)模,各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展,越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前 而言,CF4更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體及高純氣體檢測(cè)如何避免采樣時(shí)產(chǎn)生的誤差?
武漢紐瑞德特種氣體有限公司最近改進(jìn)了生產(chǎn)工藝,想要對(duì)自家生產(chǎn)的氟化氫、氮?dú)?、氧氣等產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)。由于氣體產(chǎn)品檢測(cè)主要是測(cè)定氣體的組成、雜質(zhì)含量以及物理特性等,所以采樣時(shí)的氣體質(zhì)量是否具有代表性就非常重要。采樣作為氣體分析的第一步,也是最關(guān)鍵的一步,對(duì)于整個(gè)檢測(cè)結(jié)果起著決定性的影響。為了避免由于采樣而產(chǎn)生的誤差, 一、氣體采樣方法 氣體采樣方法主要分為直接采樣和間接采樣兩種方式,這兩種采樣方式一般都可以用容器裝氣體采樣或管道氣體采樣。只不過(guò)采用管道氣體采樣方法的話,直接更多 +
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工業(yè)氣體的分類(lèi)與應(yīng)用
1.工業(yè)氣體定義: 在我國(guó)的工業(yè)生產(chǎn)上,把常溫、常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱(chēng)為工業(yè)氣體產(chǎn)品。一種瓶裝壓縮液態(tài)氣體,在常溫常壓下呈氣態(tài),氣體種類(lèi)有繁多,主要用于各種工業(yè)制造方面。 2.工業(yè)氣體應(yīng)用: 工業(yè)氣體產(chǎn)品已是現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料。工業(yè)氣體被喻為工業(yè)的“血液”。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,工業(yè)氣體作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)要素之一,在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要地位和作用日益凸顯。其應(yīng)用范圍廣泛分布在:石油、化工、冶金、鋼鐵、機(jī)械、電子、電力、玻璃更多 +
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。 電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。 特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)更多 +
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環(huán)境監(jiān)測(cè)中標(biāo)準(zhǔn)氣體使用問(wèn)題的探討
本文就日常使用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)儀器設(shè)備過(guò)程中總結(jié)出一些注意要點(diǎn),以供同行參考。 引言: 隨著國(guó)家經(jīng)濟(jì)和科技的不斷發(fā)展,氣體被廣泛應(yīng)用于化工、冶金、航空航天和環(huán)保等各個(gè)領(lǐng)域。作為氣體行業(yè)的一個(gè)重要分支,對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)起到規(guī)范和發(fā)揮著質(zhì)量保證的作用。標(biāo)準(zhǔn)氣體(又叫校正氣體)屬于氣態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),是高度均勻的,良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)。在環(huán)境監(jiān)測(cè)過(guò)程中,標(biāo)準(zhǔn)氣體可以用于校準(zhǔn)測(cè)試儀器和質(zhì)量控制計(jì)劃中的期間核查,正確的使用標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性提供了關(guān)鍵的技術(shù)保證。更多 +
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韓國(guó)稀有氣體“氖”成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化!
隨著近年來(lái)半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速增長(zhǎng),半導(dǎo)體工藝中使用的氖 (Ne)、氙 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國(guó)稀有氣體市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從2020年約1600億韓元增長(zhǎng)到2023年約2800億韓元,年均增長(zhǎng)20%。然而,韓國(guó)目前100%進(jìn)口稀有氣體。 氖氣是空氣中含量?jī)H有0.00182%的一種稀有氣體,是半導(dǎo)體曝光工藝中使用的準(zhǔn)分子激光氣體的原料之一。過(guò)去,全部進(jìn)口并依賴(lài)外國(guó)技術(shù),由于貿(mào)易爭(zhēng)端導(dǎo)致價(jià)格飆升和供應(yīng)短缺,韓國(guó)曾試圖將產(chǎn)品本地化。此次建成的裝置每年可生產(chǎn)約22000更多 +
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科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展
近年來(lái),5G,人工智能(AI)和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè),電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類(lèi)重要材料,品類(lèi)多達(dá)百余種。日前,2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析,指明了電子氣體技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。 電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類(lèi),即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過(guò)科利德公司電子級(jí)一氧化氮(NO)的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成更多 +
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國(guó)內(nèi)第一!山東水發(fā)氦氣提純至99.9999%
氦氣被譽(yù)為氣體界的稀土,是高科技發(fā)展不可或缺的稀有戰(zhàn)略資源,但之前國(guó)內(nèi)氦氣90%以上依賴(lài)進(jìn)口。11月30日,在鄂爾多斯水發(fā)LNG液廠內(nèi),伴隨工人們的一陣歡呼聲,BOG 提氦設(shè)備正式出液,相關(guān)指標(biāo)顯示氦氣純度高達(dá)99.9999%。這標(biāo)志著山東省屬企業(yè)水發(fā)集團(tuán)權(quán)屬的水發(fā)燃?xì)釨OG提氦技改項(xiàng)目取得成功,水發(fā)燃?xì)馓烊粴夂馓峒兗夹g(shù)躍升國(guó)內(nèi)行業(yè)首位,也意味著國(guó)內(nèi)氦氣自主生產(chǎn)能力取得重大突破。 據(jù)了解,國(guó)內(nèi)提氦技術(shù)源于40多年前的德國(guó)林德公司,目前初步做 BOG 提氦的工藝廠家較多,但方案基本上只考慮單純的 BO更多 +
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國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢(shì)了解下
電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種,與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng)),是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一,相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來(lái)特種氣體的增量需求。 行業(yè)壁壘和國(guó)內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀:電子特氣對(duì)氣源和供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求,屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設(shè)備資質(zhì)、客戶(hù)認(rèn)證、市場(chǎng)服務(wù)共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中,氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。更多 +
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