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2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發(fā)展現狀
隨著近年來國防工業(yè)、科學研究、自動化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應用領域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。 近年來,隨著下游應用領域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據不完全統計,我國已有的特種氣體達260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(吸附、膜分離)、混配技術和提純技術的發(fā)展,更多的特種氣體產品將逐步走向市場。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
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六氟化硫造影劑的優(yōu)點
六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,SF6是強電負性氣體,它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子,削弱氣體中碰撞電離過程,因此其電氣絕緣強度很高,在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰,因此在交流電弧電流過零時,SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多,其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優(yōu)良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩(wěn)定性,它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中,SF6作為滅弧介質,已取更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝,蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體,電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡直為0,而且能完結納米級溝槽的加工,成為電子工業(yè)領域內一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發(fā)團隊提出自主開發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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電子氣體中金屬雜質的分析方法綜述
一、原子吸收光譜(AAS) 原子吸收光譜法是基于待測元素的基態(tài)原子蒸汽對其特征譜線的吸收,由譜線的特征性和信號強度對待測元素進行定性和定量分析的一種常用分析方法。該分析方法主要有四種類型:火焰原子吸收光譜分析法、石墨爐原子吸收光譜分析法、蒸汽發(fā)生原子吸收光譜分析法和流動注射原子吸收光譜分析法。其中,以前兩種分析方法最為常用。 原子吸收光譜法可以測定元素周期表中的大多數金屬和非金屬元素,火焰原子吸收法對大多數金屬元素的相對靈敏度為10−10~10&min更多 +
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第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇盛大開幕,特種氣體迎來新機遇!
11月14日,光電核心領域全產業(yè)鏈創(chuàng)新產品的第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇(簡稱光博會)在中國光谷科技會展中心盛大開幕。展會為期三天,首日觀展人數超萬人。 大會由工業(yè)和信息化部、科技部、國家知識產權局、中國科學院、中國貿促會、湖北省人民政府聯合主辦,武漢市政府、武漢東湖高新區(qū)等單位共同承辦。 本屆光博會以“光聯萬物,智引未來”為主題,以“聚全球資源,建世界光谷”為目標,共規(guī)劃6個展館,更多 +
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臺大疑似砷化氫外泄,砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢?
據臺灣“中時電子報”報道,11月5日上午10時許,國立臺灣大學電機系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄,由于適逢期中考,校方緊急疏散師生,11人預防性送到醫(yī)院檢查。 臺灣網友指出,氣體是從4樓外泄,出事的實驗室是做半導體的,這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導體上面,其本身是無色無臭氣體,易燃且極毒。報道說,詳細情況及出事原因到底為何,仍有待進一步了解。 在半導體中應用,砷烷用于半導體工業(yè)中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
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電子氣體國產化,為何難以實現?
廣義的“電子氣體”指電子工業(yè)生產中使用的氣體,是重要原材料之一;狹義的“電子氣體”特指半導體行業(yè)用的氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝,被稱為半導體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。 在硅片制造廠,一個硅片需要兩到三個月的工藝流程,完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序,需要的高純電子化學氣體及更多 +
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同位素示蹤法在各行業(yè)的應用
工業(yè)中的應用 在工業(yè)活動中,示蹤原子為使用多種高性能的檢測方法和生產過程自動控制方法提供了可能性,克服了傳統檢測方法難以完成甚至無法完成的難題。如石油工業(yè)中采用放射性核素示蹤微球等方法測繪注水井吸水剖面,為評價地層,調整注水量的分配,實現石油的增產和穩(wěn)定做出了貢獻。在機械工業(yè)中可用氪(85Kr)化技術進行機械磨損研究,測量一些其他方法不能完成的運動部件的最高工作溫度和溫度分布。此外,這一靈敏度很高的85Kr檢漏方法也在機械工業(yè)產品、機械零部件和金屬真空系統的檢漏,以及電子工業(yè)半導體更多 +
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半導體工業(yè)中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導體器件、化合物半導體、激光器、光導纖維、太陽能電池等的高純度氣體,一般純度在99.999%(5N)以上。其中55%的市場份額是背景氣體(如氧、氮、氬、氫、CO2等);其他45%為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發(fā)展至100余種:混合氣己有17類、330多個品種,大約1000多種規(guī)格。超凈高純特種氣體配套性很強,根據不同用途分別有電子級、載氣級、發(fā)光二極管級、光導纖維級、VLSI級(超大規(guī)模集成電路級)等。最近為適應兆位集成電路的生產更多 +