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: 晶圓制造之血液

電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料電子氣體簡(jiǎn)介特種電子氣（簡(jiǎn)稱(chēng)特種電子氣）是特種氣體的一個(gè)重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類(lèi)別中的電子氣體，如高純度SiH4、P
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: 六氟化硫合成的人造惰性氣體

它是一種人造惰性氣體，由兩位法國(guó)化學(xué)家莫桑和勒博在20世紀(jì)合成。大約在20世紀(jì)40年代，美國(guó)軍方將其用于曼哈頓項(xiàng)目（核軍事）。它于1947年上市。 SO2F2是一種無(wú)色無(wú)味的氣體，具有極其穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)。當(dāng)加熱到150°C時(shí)，它不會(huì)與水和金屬反應(yīng)。SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。SO2F2是一種有毒氣體，可導(dǎo)致抽筋。它的危險(xiǎn)在于它沒(méi)有刺鼻的氣味，也不會(huì)刺激鼻粘膜，因此在被發(fā)現(xiàn)中毒后通常會(huì)很快死亡。 SF6氣體是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、不易燃和透明的氣體，在正常情況下有液化的可能性。只有當(dāng)溫度高
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: 充裝六氟化硫氣體嚴(yán)禁水分進(jìn)入

水分是六氟化硫設(shè)備產(chǎn)生有毒物質(zhì)的條件。如果六氟化硫氣體的含水量超過(guò)規(guī)定的含水量，當(dāng)其含水量發(fā)生變化時(shí)，它可以在固體絕緣表面上冷凝，使表面濕潤(rùn)，然后設(shè)備的表面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解產(chǎn)生的低氟復(fù)合氣體不產(chǎn)生SO2、HF和其他有害物質(zhì)，無(wú)需水分子的外部狀態(tài)，以避免其引起的設(shè)備腐蝕。因此，當(dāng)向設(shè)備中注入六氟化硫氣體時(shí)，必須采取嚴(yán)格措施防止?jié)駳膺M(jìn)入。 ? （1）開(kāi)始工作前，首先測(cè)量周?chē)諝獾南鄬?duì)濕度≤80%（即在相同溫度下空氣中的水蒸汽密度與飽和水蒸汽密度之比的百分比）
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體該如何使用？-紐瑞德特種氣體

使用標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)，需要考慮很多事情。接下來(lái)，我將逐一解釋。 1、標(biāo)準(zhǔn)氣體取樣標(biāo)準(zhǔn)氣體采樣方法的合理設(shè)計(jì)能否確保樣品不被污染是準(zhǔn)確傳輸?shù)年P(guān)鍵。因此，應(yīng)選擇合適的閥門(mén)和管道。閥門(mén)或取樣接頭應(yīng)具有耐壓性、死容量小且可調(diào)節(jié)。這種材料通常是鍍鉻黃銅。對(duì)于活性氣體，如NO2、SO2等。它應(yīng)該由不銹鋼制成。取樣管線(xiàn)應(yīng)清潔、干燥且盡可能短，以便盡快沖洗掉殘余氣體。使用標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)，成分的含量很容易受到環(huán)境中含量的影響（氣體的影響使含量不準(zhǔn)確），例如O2、N2、CO2等。必須采用硬質(zhì)化合物，以有效防止樣品因這些氣體的滲
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: 高純氣體的常見(jiàn)雜質(zhì)有哪些?

高純氣體的常見(jiàn)雜質(zhì)有哪些? 常規(guī)雜質(zhì)：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O 特殊雜質(zhì)：顆粒物、油份、金屬離子、同位素物質(zhì)污染、亞穩(wěn)態(tài)物質(zhì)污染雜質(zhì)來(lái)源：原料污染、生產(chǎn)工藝副產(chǎn)物、工藝失效污染、過(guò)程污染環(huán)境帶入：空氣組分(O2, N2, Ar, CO2), 水分生產(chǎn)裝置，管路，充裝裝置帶入：水分，金屬元素，顆粒物，油份生產(chǎn)工藝富集包裝污染殘氣污染包裝本身帶入污染：水分，金屬元素，顆粒物分解聚合污染 &
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的氣瓶可以盛裝不同的氣體嗎？

標(biāo)準(zhǔn)氣瓶能裝不同的氣體嗎？這取決于具體情況。首先，我們介紹標(biāo)準(zhǔn)氣體氣瓶。如下圖所示，標(biāo)準(zhǔn)氣瓶閥門(mén)的材質(zhì)一般分為銅和不銹鋼。銅閥適用于穩(wěn)定、無(wú)腐蝕性和低腐蝕性部件，而不銹鋼瓶閥適用于高濃度的腐蝕性和活性部件。為什么會(huì)有這種區(qū)別？對(duì)于腐蝕性部件，當(dāng)使用銅閥時(shí)，瓶閥在一段時(shí)間后很容易被腐蝕，導(dǎo)致漏氣和安全風(fēng)險(xiǎn)?；钚越M分容易與銅發(fā)生反應(yīng)。如果使用銅閥，可降低成分濃度或引入其他雜質(zhì)。例如，CO2標(biāo)準(zhǔn)氣體可以使用銅閥，而SO2標(biāo)準(zhǔn)氣體需要不銹鋼閥。
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: NO2和NO是可以互相轉(zhuǎn)換的，NO或NO2標(biāo)準(zhǔn)氣體會(huì)有什么影響嗎？

根據(jù)反應(yīng)方程2NO+O2=2NO2，在氧氣存在的情況下，NO會(huì)反應(yīng)成為NO2。因此，當(dāng)配制NO標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)，要盡可能減少氧氣，所以需要使用N2做平衡氣。而且氮?dú)獾募兌仍礁?，才可保證氧雜質(zhì)的含量越少。當(dāng)配制NO2標(biāo)準(zhǔn)氣體，則需要大量氧氣，所以建議用空氣做平衡氣。只有氧氣充足時(shí)，NO2就不會(huì)向NO反應(yīng)。需要注意的是，由于該反應(yīng)方程為可逆反應(yīng)，NO中必會(huì)存在NO2。但液空配制的標(biāo)準(zhǔn)氣體，均使用99.9999%氮?dú)庾鳛槠胶鈿?，可保證NO2的含量控制在NO含量的5%以?xún)?nèi)。如果客戶(hù)的應(yīng)用要求更高，液空也可使用純度
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: 機(jī)動(dòng)車(chē)尾氣檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)氣的組成及作用

隨著汽車(chē)工業(yè)的發(fā)展，汽車(chē)尾氣污染已成為我國(guó)城市空氣污染的主要來(lái)源。汽車(chē)尾氣是指汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的CO（一氧化碳）、CO2（二氧化碳）、HC+NOx（碳?xì)浠衔锖偷趸铮㈩w粒物（顆粒物、煙塵）等有害氣體。這些有害氣體的產(chǎn)生有多種原因。CO是燃料不完全氧化的中間產(chǎn)物。當(dāng)氧氣不足時(shí)，會(huì)產(chǎn)生CO。致密和不均勻的混合物會(huì)增加廢氣中的CO。HC是燃料中未燃燒的物質(zhì)。由于混合氣的不均勻性和燃燒室冷壁的不均勻性，部分燃油將在未來(lái)排放。氮氧化物是燃料（汽油）燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的一種物質(zhì)。顆粒物也是燃料燃燒過(guò)程中缺氧產(chǎn)生的物質(zhì)
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用應(yīng)該注意哪些方面

1.取樣合理設(shè)計(jì)取樣方法是保證樣品不受污染、準(zhǔn)確傳遞的關(guān)鍵。因此，應(yīng)選擇合適的閥門(mén)和管道。取樣閥或接頭應(yīng)耐壓，具有較小的靜容量，并可調(diào)節(jié)。材料通常是黃銅和鉻。對(duì)于活性氣體，如NO2、SO2等，應(yīng)采用不銹鋼制成。取樣管線(xiàn)應(yīng)清潔、干燥，并盡可能短，以確保廢氣能夠盡快排出。當(dāng)使用O2、N2、CO2等組分含量易受環(huán)境含量影響的標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)（氣體的影響使含量不準(zhǔn)確），應(yīng)采用硬連接，有效防止這些氣體的滲透擴(kuò)散對(duì)樣品造成污染。 2.進(jìn)樣注入分為動(dòng)態(tài)注入和靜態(tài)注入。工藝氣體分析儀、實(shí)驗(yàn)室非色散紅外氣體分
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: 什么是標(biāo)準(zhǔn)氣體組分的相容性

如果產(chǎn)生氮?dú)庵械牡趸飿?biāo)準(zhǔn)氣體，如果氮?dú)庵泻懈呒兌鹊难鯕饣蛟谔畛溥^(guò)程中帶入氧氣，則混合氣體將為NO2/N2。類(lèi)似的問(wèn)題可以總結(jié)如下： 1.酸性和堿性氣體常見(jiàn)的酸性氣體包括：HCl、H2S、so NO2、有機(jī)酸等。不能與堿混合，如氨氣和有機(jī)胺裝在氣瓶?jī)?nèi)；還原氣體和氧化氣體不相容，不能裝入一個(gè)氣瓶，如H2S和SO2、H2S和NO2、H2和Cl2等。 3.可燃或自燃?xì)怏w和氧化性氣體如果易燃?xì)怏w和氧化氣體裝在同一個(gè)氣瓶?jī)?nèi)，超過(guò)最低爆炸極限或超過(guò)最低耗氧量，則有爆炸風(fēng)險(xiǎn)。由于易燃?xì)怏w、
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