氦質(zhì)譜檢漏儀用高純氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。是一種應(yīng)用于國內(nèi)外的真空容器檢漏先進技術(shù)。與一般的檢漏技術(shù)相比，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：

1、氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，易于發(fā)現(xiàn)；

2、氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔；

3、氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

4、氦氣是無毒、無味，對大氣無污染。

5、氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷設(shè)備；

6、氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

正因為氦氣具有以上特性，所以氦氣檢漏應(yīng)用已從科研院所到工業(yè)企業(yè)乃至到個體企業(yè)，可以說應(yīng)用領(lǐng)域極其寬廣。