六氟化硫氣體在合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，還可將少量雜質(zhì)，如空氣、水分和礦物油混入氣體填充過程中，所有這些雜質(zhì)都含有或?qū)a(chǎn)生某些有毒物質(zhì)。因此，為了確保純度和質(zhì)量，對將要出廠的六氟化硫制定了新的的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并要求制造商在供應(yīng)時在生物試驗(yàn)中提供無毒證書。

1、高溫電弧作用下電氣設(shè)備中SF6氣體會產(chǎn)生的一些有毒產(chǎn)品。例如：SF6氣體在電弧中分解并與氧反應(yīng)：會產(chǎn)生氟化硫酰、氟化亞硫酰、四氟化硫酰等有毒物質(zhì)。

2、將六氟化硫氣體在電氣設(shè)備中分解后與其中的水發(fā)生反應(yīng)，生成一定的有毒產(chǎn)物。例如，sf6氣體餾分與水的二次反應(yīng)生成硫酸、氫氟酸、二氧化硫等。

3、電器設(shè)備中的SF6氣體和分解劑與電極(Cu-W合金)和金屬材料(Al，Cu)發(fā)生反應(yīng)，生成一些有毒的產(chǎn)物。例如，六氟化硫氣體和分解物與電極或其他材料發(fā)生反應(yīng)：固體粉末——如AlF3(固體粉末)、CuF2(固體粉末)。

4、電氣設(shè)備中的SF6氣體和分解器與絕緣材料反應(yīng)產(chǎn)生某些有毒產(chǎn)品。如含硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃布片(棒、管)等絕緣部件；或用環(huán)氧樹脂鑄件、模塑件和陶瓷瓶、硅橡膠、石英砂和玻璃填充的硅脂生產(chǎn)SiF4、Si(CH3)2F2等產(chǎn)品，如環(huán)氧樹脂澆注件、模塑件和瓷瓶、硅橡膠、硅樹脂潤滑脂等。