新浪微博|騰訊微博|收藏本站|網(wǎng)站地圖歡迎光臨武漢紐瑞德特種氣體有限公司!

氦氣,氖氣,六氟化硫等特種氣體,紐瑞德專業(yè)!中國特種氣體供應(yīng)首選品牌
23年資深專家創(chuàng)辦  國家科研單位指定供應(yīng)商

全國服務(wù)熱線:4006277838
紐瑞德感謝客戶對其大力支持
當(dāng)前位置:首頁 » 氣體純度及其表示法

氣體純度及其表示法

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-10-27 09:00:00【

 由于氣體分為簡單氣體、多組分氣體、混合氣體和有機(jī)化合物氣體,構(gòu)成氣體的物質(zhì)(或元素)可稱為氣體組分。因此,氣體純度的含義可以理解為除氣體成分外還包含許多其他物質(zhì)。例如,氮的純度是指除N組分外,O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬和灰塵顆粒等雜質(zhì)的量;氨的純度是指除NH3外,O2、N2、CO2、H2O和灰塵顆粒等雜質(zhì)的量;另一個(gè)例子是氮?dú)夂?a href="/haiqi.shtml" class='con_kwd' title="氦氣">氦氣的混合物,它指的是N2和He組分旁邊的雜質(zhì)量,如O2、CO2、H2O塵埃顆粒。

參考?xì)怏w純度的方法有很多,如普通清潔氣體、高純度氣體、電子清潔氣體、超純氣體等。隨著超大集成電路(VLSI)和超大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展,出現(xiàn)了VLSI和ULSI級的純氣體。這些公式并不十分準(zhǔn)確,但它們只給出了氣體純度的粗略描述,而不是氣體純度的大小。有兩種主要方法可以準(zhǔn)確地表示氣體的純度。即:

1.以百分比表示,如99%、99.5%、99.9%、99.999%、99.9999%、99.999%、99.999 9%、99.99 9%、99.99.999%等。

2.使用“N”顯示,如3N、5N、4.8N、5.5N、6N、7N等。數(shù)字N對應(yīng)于(1)中的數(shù)字“9”,小數(shù)點(diǎn)后的數(shù)字表示小于“9”的數(shù)字。例如,4N(99.99%)6N(99.9999%)7N(99.999%)4.8N(99.998%)5.5N(99.99.95%)等。

根據(jù)氣體純度的不同,氣體純度一般分為四級,即普通氣體、純氣體、高純度氣體和超高純度氣體。下表顯示了氣體純度和設(shè)備生產(chǎn)工藝的應(yīng)用。