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搜索:電子級(jí)氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)
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電子氣體的未來發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)?1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格,2、流量大,輸送連續(xù)穩(wěn)定,3.安全性越來越嚴(yán)格,4.建設(shè)成本日益下降。
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我們都知道電子氣體是危險(xiǎn)的。電子氣體的未來發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)?
1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格:隨著電子消費(fèi)品的升級(jí),產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,對(duì)產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來越嚴(yán)格。整個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測(cè)限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可以測(cè)量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到0.01μm。
2、流量大,輸送連續(xù)穩(wěn)定:電子氣傾向于集
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