我們都知道電子氣體是危險(xiǎn)的。電子氣體的未來(lái)發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)？

1.電子氣體污染的控制要求越來(lái)越嚴(yán)格：隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)，產(chǎn)品的制造規(guī)模越來(lái)越大，對(duì)產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來(lái)越嚴(yán)格。整個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來(lái)越嚴(yán)格。原則上，行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測(cè)限（LDL）直接相關(guān)。例如，傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可以測(cè)量0.1μm，而核心凝固技術(shù)（CNC）可以達(dá)到0.01μm。

2、流量大，輸送連續(xù)穩(wěn)定：電子氣傾向于集中供應(yīng)，特殊氣體放在氣室中。根據(jù)機(jī)器的流量要求合理配置輸送系統(tǒng)的數(shù)量。專用輸氣設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣，并設(shè)計(jì)更多備用設(shè)備。對(duì)于低蒸氣壓氣體（WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等），有必要進(jìn)行氣缸加熱、氣板加熱、管道跟蹤等。高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在空氣源的末端。機(jī)器的氣體消耗點(diǎn)也配有質(zhì)量流量計(jì)。

3.安全性越來(lái)越嚴(yán)格：電子氣體可能具有窒息性、腐蝕性、毒性、易燃性、爆炸性等危害，其危害性已被不同國(guó)家、地區(qū)和行業(yè)組織詳細(xì)分類。對(duì)于一家大規(guī)模生產(chǎn)的電子工廠來(lái)說(shuō)，其使用和儲(chǔ)存的電子氣體數(shù)量可以毫不夸張地被視為“大規(guī)模殺傷性武器庫(kù)”。規(guī)劃、施工和日常運(yùn)營(yíng)中的任何潛在安全風(fēng)險(xiǎn)都會(huì)對(duì)工廠、人員和環(huán)境造成重大災(zāi)難。

4.建設(shè)成本日益下降：隨著電子行業(yè)投資規(guī)模的增加，縮短建設(shè)時(shí)間和降低建設(shè)成本變得越來(lái)越重要。對(duì)于電子氣體傳輸系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，在不降低系統(tǒng)污染水平和犧牲安全配置的情況下降低建設(shè)和運(yùn)營(yíng)成本也是一個(gè)挑戰(zhàn)。