中文名稱:四氟化硅
產(chǎn)品純度:99.999%包裝規(guī)格:10L、47L
英文名稱:Silicon Tetrafluoride
分子式:F4Si
CAS:7783-61-1
電子級四氟化硅
高純電子級四氟化硅(SiF4)作為電子工業(yè)重要原料之一,具有較高的氟硅比,被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體或太陽能電池的生產(chǎn),是電子產(chǎn)業(yè)核心制造業(yè)的基礎(chǔ)。它可以高效刻蝕氮化硅、硅化鉭等芯片材料,作為P型摻雜劑及外延沉積擴(kuò)散硅源。Chemicalbook特別在新一代芯片制程的高深寬比、大容量金屬層間絕緣介質(zhì)加工工藝中,四氟化硅作為硅源可以達(dá)到較高的化學(xué)沉積速率,制成更優(yōu)越的低介電常數(shù)SiO2薄膜。另外,四氟化硅也是光導(dǎo)纖維制造工藝的主要原料和光纖行業(yè)中硅基半導(dǎo)體離子注入制程的關(guān)鍵成分。
用途
用于氟硅酸及氟化鉛的制取,也用作水泥和人造大理石的硬化劑,制造純硅的中間體。
危險(xiǎn)特性
不易燃。易水解成氟硅酸,在潮濕空氣中形成氟化氫。具窒息性、刺激性和腐蝕性。對眼睛、皮膚、粘膜和呼吸系統(tǒng)有嚴(yán)重?fù)p害。局部腐蝕作用強(qiáng),能引起脫鈣中毒,經(jīng)過長期的痛苦而致Chemicalbook殘廢。吸入氣體會造成呼吸困難,出現(xiàn)肺水腫及化學(xué)性肺炎。同時(shí)可見牙齒酸蝕癥所致的脫鈣,因氟慢性中毒導(dǎo)致骨硬化癥。大鼠吸入LC50300ppm。受熱后瓶內(nèi)壓力增大,有爆炸危險(xiǎn)。
貯運(yùn)須知
裝于特殊鋼瓶內(nèi),貯于陰涼、通風(fēng)的倉庫內(nèi)。遠(yuǎn)離熱源和火源。防止受潮和雨淋。須貼“毒氣、腐蝕品”標(biāo)Chemicalbook志。航空、鐵路嚴(yán)禁運(yùn)輸。火災(zāi)時(shí)可用水冷卻容器,關(guān)閉閥門,切斷火源。用二氧化碳、干粉、干砂滅火。禁止用水。
急救措施
眼睛接觸時(shí),用大量水沖洗,并就醫(yī)診治。皮膚接觸時(shí) 先用水沖洗,再涂敷氧化鎂甘油軟膏,如已灼傷應(yīng)立即就醫(yī)。吸入氣體時(shí),立即將患者移至新鮮空氣處,安置休息并保暖。迅速送醫(yī)院救治。
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