考慮到環(huán)境污染愈來(lái)愈嚴(yán)重，科學(xué)家積極且持續(xù)地在不同項(xiàng)目上發(fā)展綠色工藝。學(xué)者提出其中之一項(xiàng)，在工廠制程設(shè)備驗(yàn)證六氟化硫(SF6)回收系統(tǒng)，該系統(tǒng)除了具有經(jīng)濟(jì)效益，且能達(dá)到二氧化碳(CO2)排放當(dāng)量減量效果。這個(gè)工藝流程包含制程尾氣的前處理，回收氣體的分離、純化、儲(chǔ)存、供應(yīng)；作為制程生產(chǎn)使用。

  一般而言，全氟碳化物(Perfluorocarbon PFC)減量的應(yīng)用，包含有制程減量，其他低二氧化碳當(dāng)量氣體的取代，制程廢氣燃燒處理，以及本次所提的氣體回收再利用。在這些方法中，工藝?yán)щy度最高的，屬于回收再利用，因此在工業(yè)上的應(yīng)用也很少有成功的案例。借由本文的討論，提供面板廠，除了常用的制程廢氣燃燒處理方式之外，另一個(gè)在CO2排放當(dāng)量，有著相同處理效能的工藝設(shè)備選擇機(jī)會(huì)。值得順帶一提，因?yàn)椴扇』厥諝怏w再利用，六氟化硫氣體在消費(fèi)工廠的整體使用量減少，所以在製造工廠因相對(duì)減產(chǎn)，造成CO2排放量當(dāng)量減少的效益，有別于消費(fèi)工廠利用制程廢氣燃燒處理方式者。

  在實(shí)驗(yàn)過程中，數(shù)據(jù)表明其中經(jīng)dry Etching制程，SF6裂解率一般而言在40%~60%，殘存的SF6若使用回收處理設(shè)備將可進(jìn)一步回收使用；若使用燃燒式處理設(shè)備，則是直接將SF6燃燒，較不經(jīng)濟(jì)。更進(jìn)一步討論，未來(lái)如嘗試改變適當(dāng)?shù)闹瞥虠l件，在相同的SF6製程用氣量前提之下，著眼于提高可回收的SF6氣量，或許將可達(dá)到更高的經(jīng)濟(jì)效益，這個(gè)可行性，則有待未來(lái)再進(jìn)一步深入的研究。

  經(jīng)過一系列的實(shí)驗(yàn)，學(xué)者對(duì)于六氟化硫(SF6)回收系統(tǒng)得出這樣一個(gè)結(jié)論：

  (1)整體回收純化系統(tǒng)進(jìn)口的規(guī)格管制；雖然回收系統(tǒng)主要是去除不純物為主，但腐蝕性的有害物質(zhì)，必須設(shè)置前處理設(shè)備，防止純化設(shè)備被破壞。 

  (2)目前的回收設(shè)備初設(shè)成本較高，因此在SF6的用量須達(dá)一定規(guī)模，較具回收經(jīng)濟(jì)效益。

  (3)回收氣體中大部分是氮?dú)?，若能予以減量，可降低成本。