超高純氣體是半導體行業(yè)的生命線

半導體超高純氣體分析旨在研究半導體材料中的氣體雜質。通過使用高度

精確的分析技術，我們能夠檢測和量化這些雜質，以便評估其對半導體性

能的影響。這些分析方法包括氣體色譜、質譜、全能譜和紅外光譜等。通

過詳細的氣體分析，我們可以確定半導體中的各種氣體成分，并確定其濃

度和分布。這對于確保半導體器件的穩(wěn)定性和可靠性至關重要。因此，半

導體超高純氣體分析是半導體工業(yè)中重要的研究領域之一。
在半導體行業(yè)中，超高純度（UHP）氣體被視為生命線。由于需求空前，

以及全球供應鏈中斷導致超高壓氣體價格飆升，新的半導體設計和制造方

法不斷提高著污染控制的要求水平。對于半導體制造商來說，確保UHP氣

體的純度比以往任何時候都更加重要。
超高純度氣體在半導體行業(yè)的意義非凡。
在現(xiàn)代半導體制造中，超高純度（UHP）氣體是絕對關鍵的。
超高純(UHP)氣體的一個主要應用是惰性氣化。UHP氣體用于在半導體元件

周圍創(chuàng)造一種保護氛圍，以防止它們受到大氣中的水分、氧氣和其他污染物

的有害影響。然而，惰性氣化只是UHP氣體在半導體工業(yè)中扮演的眾多不同

功能之一。從初級等離子氣體到用于腐蝕和退火的反應性氣體，超高純氣體

在許多不同的用途中得到應用，并且在整個半導體供應鏈中都不可或缺。
在半導體工業(yè)中，有幾種“核心”氣體被廣泛使用。其中氮氣主要用于通用清

洗和作為惰性氣體；氬氣被用作蝕刻和沉積反應的主要等離子氣體；氦氣則

被用作具有特殊熱量轉移特性的惰性氣體；而氫氣則在退火、沉積、外延和

等離子清洗中都扮演著重要角色。
隨著半導體技術的不斷發(fā)展和改變，制造過程中所采用的氣體也發(fā)生了改變

。目前，半導體制造廠使用的氣體種類多樣，從惰性氣體如氪和氖，到活性

物質如三氟化氮（NF3）和六氟化鎢（WF6），覆蓋了廣泛的范圍。

對純度的要求不斷提高
自從第一顆商用微芯片問世以來，全球都目睹了半導體器件以驚人的指數(shù)級

速度不斷提升的性能。在過去的五年里，其中一個最可靠的方法是通過"尺寸

縮放"來實現(xiàn)性能的改進：即減小現(xiàn)有芯片架構的關鍵尺寸，以容納更多晶體

管在同樣的空間內(nèi)。此外，通過開發(fā)新的芯片架構以及采用尖端材料，設備

的性能也邁進了新的臺階。
目前，尖端半導體的關鍵尺寸已經(jīng)變得非常微小，以至于簡單地縮小尺寸已

經(jīng)不再是提高器件性能的有效途徑。反之，半導體研究人員正在探索新型材

料和3D芯片結構的解決辦法。
經(jīng)過數(shù)十年的不懈努力重新設計，如今的半導體設備比舊的微芯片更加強大，

但也更加脆弱。300毫米晶圓制造技術的出現(xiàn)提高了半導體制造過程中對雜

質的控制水平。即使是制造過程中最輕微的污染（尤其是稀有或惰性氣體），

也可能引發(fā)設備災難性的故障。因此，氣體純度如今比以往任何時候都更加

重要。