當(dāng)特種氣體遇上顯示屏

顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管（TFT），在二世紀(jì)九十年代開始投入民用，到如今已經(jīng)是我們生

活中不可或缺的組成部分，它在我們生活中已經(jīng)是隨處可見了，大家天天離不開的手機(jī)、電視，

馬路上的廣告、標(biāo)牌等等。
顯示屏的制造與半導(dǎo)體器件的制造有許多相似的地方，不僅生產(chǎn)工藝步驟十分相似，而且在制造

過程中都需要使用大量的氣體，使用的氣體類型也大都相同。
顯示屏生產(chǎn)中用到氣體主要分為兩大類：電子特種氣體和電子大宗氣體。電子特種氣體主要指硅

烷、六氟化硫、三氟化氮、氨氣及磷化氫混合物，占生產(chǎn)制造使用氣體的52%；電子大宗氣體指

氦氣、氮?dú)?、氧氣、氫氣、二氧化碳和氬氣，占生產(chǎn)制造使用氣體的48%。
硅烷：SiH4是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管

的氮化硅層，與氮?dú)猓∟2）結(jié)合使用，形成用于LTPS晶體管的預(yù)準(zhǔn)分子激光退火a-Si，或與氧化

亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。
三氟化氮：從a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中的消耗和使用量來看，NF3是a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中使

用最多的單種電子材料，而在MO生產(chǎn)中，其使用量不如N2O。NF3用于清潔PECVD腔室。對于

這種氣體，需要具備可擴(kuò)展性，才能在競爭激烈的市場中建立所需的成本優(yōu)勢。
氧化亞氮：LTPS和MO顯示屏生產(chǎn)中均使用，從MO生產(chǎn)中的消耗和使用量來看，N2O已超過

NF3成為MO生產(chǎn)中用量最多的電子材料。N2O是一種區(qū)域性、本地化的產(chǎn)品，由于其成本低，

無法采用物流成本高昂的長供應(yīng)鏈。平均每5.5平方米素玻璃重約2公斤，每月一般需要240噸

N2O才能生產(chǎn)120K的8.5 MO顯示屏。最大的N2O壓縮氣體拖車每次只能提供6噸N2O，對于MO

生產(chǎn)來說，這種做法成本高，風(fēng)險大。
氮?dú)猓阂话愕拇笮惋@示屏廠氮?dú)庑枨罂筛哌_(dá)50,000 Nm3/小時，因此現(xiàn)場發(fā)生器是一種具有成本

效益的解決方案，與傳統(tǒng)的氮?dú)夤S相比，顯示屏制造中的CO2（二氧化碳）排放減少8％。
氦氣：氦氣用于流程中和流程后冷卻玻璃。由于氦氣是一種不可再生氣體，鑒于其成本和可得性，

制造商正在研究減少氦氣的使用。

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