電子級二氧化碳在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用

電子二氧化碳是一種高純度的二氧化碳?xì)怏w，主要用于電子工業(yè)的清潔和冷卻過程。該級二氧化碳雜質(zhì)含量

極低，滿足半導(dǎo)體、光纖、電子設(shè)備制造等對純環(huán)境要求較高的行業(yè)需求。制備過程涉及精確的純化技術(shù)，

以確保所有潛在的污染物的去除。這些污染物可能包括水、有機物、顆粒物、其他氣體雜質(zhì)、細(xì)菌和病毒。

純化過程通常包括預(yù)凈化、蒸餾、吸附、膜分離和最終精密過濾等多個步驟。

在半導(dǎo)體制造過程中，電子二氧化碳用于光刻機的光源冷卻，以保持光源的穩(wěn)定性和精度。此外，它還用于

清潔設(shè)備中的顆粒和殘留的化學(xué)物質(zhì)，以確保硅片和其他電子元件的清潔。因為在這些過程中，即使是微量

的雜質(zhì)也可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，所以使用高純度的二氧化碳是非常重要的。
標(biāo)準(zhǔn)通常由國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料國際組織國際組織（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational,

SEMI）定義。例如，SEMIC12-1104標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造中二氧化碳的純度要求，包括允許的最大雜質(zhì)水

平。

儲存和運輸需要特殊的設(shè)施和容器，以防止污染，確保安全。這種氣體通常由經(jīng)過特殊處理的高壓氣瓶或儲

罐保存，并在整個供應(yīng)鏈中遵循嚴(yán)格的質(zhì)量控制程序。
電子二氧化碳是電子工業(yè)的關(guān)鍵材料，其高純度和低雜質(zhì)含量對保證精密設(shè)備的正常運行和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重

要。隨著對高純度氣體需求的增加，相關(guān)的純化技術(shù)和供應(yīng)鏈管理也在不斷優(yōu)化和改進。

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