電子氣體的分類與應用全解析  

電子氣體，多為集中供應，可分為大宗氣體，包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化

碳等；電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁烷、

甲烷等氣體。



電子氣體是電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料，如超大型集成電路、平面顯示器件、化合物

半導體器件、太陽能電池、光纖等。廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

隨著我國超大型集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體市場需求顯

著增加。

一、什么是電子氣體？

1、電子氣體的含義：氣體工業(yè)術語，半導體工業(yè)用氣體統(tǒng)稱為電子氣體。

2、電子氣體分類：根據(jù)其類別可分為純氣體、高純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料

氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用于稀釋氣體和載體氣體。電子氣體是

特殊氣體的重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合可分為電子等級，LSI(大型集成電路)

級，VLSI(超大型集成電路)級和ULSI級(超大型集成電路)級。

二、列舉電子氣體應用

1、電子氣體系統(tǒng)技術的應用

在目前工藝技術先進的超大型集成電路廠的晶圓片制造過程中，所有的工藝步驟都超過了通

道，大約使用不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用

的前提下，穩(wěn)定地將電子氣體從氣源端輸送到工藝生產(chǎn)設備的氣點，無二次污染，控制工藝

要求的流量和壓力。根據(jù)氣體的性質(zhì)和供應包裝的不同。

2、氨在電子工業(yè)中的應用

氨是一種由氮和氫組成的化合物。它是一種具有特殊刺激性氣味的無色水溶性氣體。大多數(shù)

氨用于生產(chǎn)肥料，也是幾乎所有含氮化合物的前身。高純度特殊氣體在LED生產(chǎn)中起著至關

重要的作用。超純氨是用來確保生產(chǎn)最高質(zhì)量的LED元件。這是因為氧氣含有水蒸氣分子，

即使是微量的，也可以大大降低光能輸出。

3、硅烷的應用

硅烷、硅和氫化合物易自燃和爆炸，是一種高危氣體。目前廣泛應用于微電子和光電子行業(yè)，

用于制造太陽能電池、平板顯示器、玻璃和鋼涂層。此外，還用于制造先進陶瓷、復合材料、

功能材料、生物材料、高能材料等高科技應用。

4、笑氣在電子行業(yè)的應用

笑氣，即一氧化二氮，無色甜氣體，是一種氧化劑，廣泛應用于電子工業(yè)和食品飲料，甚至

在一些電子產(chǎn)品的開發(fā)中發(fā)揮著至關重要的作用。為了實現(xiàn)電視、手機和電腦顯示屏的更高

分辨率和幀速率，笑氣在下一代超高清3DTFT-LCD低成本開發(fā)(薄膜晶體管液晶)顯示屏和

OLED(發(fā)光二極管)顯示屏至關重要。
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