根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。

電子氣體行業(yè)的定義

電子氣體是電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原料，如超大規(guī)模集成電路、平面顯示器、復(fù)合半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等。它們廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

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電子氣體傳輸系統(tǒng)是指電子氣體從氣源端穩(wěn)定傳輸至工藝生產(chǎn)設(shè)備的氣體消耗點(diǎn)，無二次污染，并控制工藝所需的流量和壓力等參數(shù)，滿足工藝過程的要求，充分保證工藝和產(chǎn)品的安全使用。

根據(jù)中國報(bào)告廳發(fā)布的報(bào)告，消費(fèi)電子產(chǎn)品種類繁多，現(xiàn)代化程度越來越高，不同生產(chǎn)規(guī)模和水平的生產(chǎn)設(shè)施和科研設(shè)施與同類產(chǎn)品共存。根據(jù)投資規(guī)模和產(chǎn)品質(zhì)量的不同實(shí)際要求，行業(yè)對電子輸氣系統(tǒng)基本有以下三類要求：

1.1大型供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模生產(chǎn)8-12英寸（1英寸=25.4mm）大型集成電路（氣體類型包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等）、100MW以上太陽能電池生產(chǎn)線（氣體類型包含NH3）、LED外延工藝線（氣體種類包括NH3），五代以上LCD設(shè)備（氣體種類包括4,3，nf3）玻璃纖維（氣體種類包含SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類含HCL）等行業(yè)。他們投資規(guī)模巨大，采用最先進(jìn)的工藝設(shè)備，天然氣需求量大。他們對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出了最高要求。

上述工廠的大宗天然氣主要通過現(xiàn)場采氣或工業(yè)園區(qū)內(nèi)的管道供應(yīng)。年產(chǎn)5萬片的8英寸超大規(guī)模集成電路廠對高純氮?dú)獾男枨蟪^5000Nm3/h，LED外延工藝線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了裝在普通鋼瓶（50L和底部）中的特殊氣體外，通常還有許多種特殊氣體裝在大容器中，因此稱為散裝特殊氣體，包括Y鋼瓶（450L）、T鋼瓶（980L）、鋼瓶架（940L），ISO罐（22500L）、魚雷車（13400L）等。

散裝專用供氣系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制和彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換、自動(dòng)氮?dú)鉀_洗和自動(dòng)真空輔助排氣；多重安全措施、泄漏檢測、遠(yuǎn)程緊急停機(jī)；特殊氮沖洗的來源等。特殊氣體采用獨(dú)立氣源，多功能點(diǎn)采用VMB或VMP分支供氣，分支氣動(dòng)閥、氮?dú)鉀_洗、真空輔助排空等。用于VMB或VMP。由于BSGS氣源量大，通常使用獨(dú)立的氣室和獨(dú)立的通風(fēng)系統(tǒng)。

1.2常規(guī)送風(fēng)系統(tǒng)

傳統(tǒng)供氣系統(tǒng)主要用于4-6英寸大型集成電路系統(tǒng)、50MW以下太陽能電池生產(chǎn)線、LED芯片加工線等中耗氣電子行業(yè)。他們的投資規(guī)模中等。生產(chǎn)線可以使用設(shè)備?？刂茪怏w純度的要求不嚴(yán)格。系統(tǒng)配置盡可能簡單，以節(jié)省投資，前提是滿足安全要求。

傳統(tǒng)供氣系統(tǒng)中的大多數(shù)普通大型天然氣由現(xiàn)場液體儲(chǔ)存（LIN、LOX、LAR）或容器網(wǎng)絡(luò)（H2、He）供應(yīng)。天然氣通過管道系統(tǒng)輸送至工廠，天然氣通過三通直接輸送至用氣點(diǎn)。