電子氣體品質(zhì)關(guān)乎半導(dǎo)體器件性能提升

在集成電路、平面顯示設(shè)備、太陽(yáng)能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，從芯片生產(chǎn)到最終設(shè)備

包裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，因此電子氣體堪稱電子制造的

“血液”。電子氣體成本僅占IC材料總成本的5%-6%，但即使某一特定雜質(zhì)超標(biāo)，也

可能導(dǎo)致產(chǎn)品嚴(yán)重缺陷，甚至因不合格氣體的擴(kuò)散而污染或報(bào)廢整個(gè)生產(chǎn)線。因此

，電子氣體的質(zhì)量在很大程度上決定了半導(dǎo)體設(shè)備的性能。每次電子氣體純度提高

一個(gè)數(shù)量級(jí)，都會(huì)極大地促進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備質(zhì)量的飛躍。

影響電子氣體純度和質(zhì)量的主要因素包括：氣體生產(chǎn)和充裝、氣體混合和雜質(zhì)監(jiān)測(cè)

，以及氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

氣體的生產(chǎn)和充裝

電子氣體生產(chǎn)存在許多瓶頸，從原材料純度到合成過程、溫度和壓力控制，再到凈

化方法和分析方法，以及產(chǎn)品充裝過程中雜質(zhì)的控制，每個(gè)環(huán)節(jié)都會(huì)影響整個(gè)產(chǎn)品

的質(zhì)量。

氣體混合和雜質(zhì)監(jiān)測(cè)

對(duì)于混合氣體，比例的精度是核心參數(shù)。隨著產(chǎn)品成分的增加和制備精度的提高，

客戶經(jīng)常要求氣體供應(yīng)商對(duì)各種PPM甚至PPB濃度的氣體成分進(jìn)行精細(xì)操作，制備

過程的難度和復(fù)雜性也顯著增加。此外，氣體分析檢測(cè)和雜質(zhì)監(jiān)測(cè)也提出了更高的

技術(shù)要求。

氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存

在儲(chǔ)運(yùn)過程中，電子氣體需要用優(yōu)質(zhì)的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器，以及相應(yīng)的氣體輸送管

道、閥門和接口，以避免二次污染。

電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁

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