電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料

電子氣體簡(jiǎn)介

特種電子氣（簡(jiǎn)稱特種電子氣）是特種氣體的一個(gè)重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。

一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl 3、BF3、HCl、Cl2等。這是用于集成電路生產(chǎn)，有大約30種常見(jiàn)類型的核心范圍。正是這些氣體使硅芯片通過(guò)各種工藝具有半導(dǎo)體特性，進(jìn)而決定了集成電路的性能、集成度和成品率。即使某些污染物超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，也會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的質(zhì)量缺陷。在嚴(yán)重的情況下，不合格氣體的擴(kuò)散會(huì)污染整個(gè)生產(chǎn)線，甚至使生產(chǎn)完全癱瘓。因此，電子氣體是電子制造過(guò)程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，它確實(shí)是電子行業(yè)的“血液”。

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電子氣的原料主要是石化和煤化工生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的空分氣、低純度原料氣、廢氣等基礎(chǔ)化工原料。主要原材料來(lái)源廣泛，市場(chǎng)供應(yīng)充足，更容易從相關(guān)原材料供應(yīng)商處獲得。我國(guó)大型鋼鐵企業(yè)和化肥企業(yè)基本配備空分設(shè)備，空分氣供應(yīng)量大，價(jià)格穩(wěn)定。在石化和煤化工行業(yè)中，專用電子氣的原料氣消耗量占原料氣產(chǎn)量的一小部分。一個(gè)穩(wěn)定的石化和基礎(chǔ)化工行業(yè)可以為特種電子氣體行業(yè)提供充足的原材料。“十三五”規(guī)劃明確了環(huán)境保護(hù)和工業(yè)廢氣排放的目標(biāo)，對(duì)上游產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)將充足。由于氣體容器可以長(zhǎng)期使用，它們?cè)陔娮託怏w成本中所占比例相對(duì)較小，價(jià)格波動(dòng)對(duì)行業(yè)影響不大。

電子氣體的分類和應(yīng)用

電子產(chǎn)品的制造過(guò)程中廣泛使用了多種類型的電子氣體。目前，電子氣體有60多種純氣體和80多種混合氣體。電子氣體可分為純氣體、高純度氣體和半導(dǎo)體特種材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜、蝕刻等工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。

電子氣體主要用于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求80億元。據(jù)中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，2019年國(guó)內(nèi)電子專用氣體需求達(dá)到80億元，其中集成電路專用氣體需求35億元，飛機(jī)顯示器專用氣體需求22億元，太陽(yáng)能電池需求8億元。