電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料

電子氣體簡介

特種電子氣（簡稱特種電子氣）是特種氣體的一個重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。

一般來說，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl 3、BF3、HCl、Cl2等。這是用于集成電路生產(chǎn)，有大約30種常見類型的核心范圍。正是這些氣體使硅芯片通過各種工藝具有半導(dǎo)體特性，進而決定了集成電路的性能、集成度和成品率。即使某些污染物超過標(biāo)準(zhǔn)，也會導(dǎo)致嚴(yán)重的質(zhì)量缺陷。在嚴(yán)重的情況下，不合格氣體的擴散會污染整個生產(chǎn)線，甚至使生產(chǎn)完全癱瘓。因此，電子氣體是電子制造過程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，它確實是電子行業(yè)的“血液”。

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電子氣的原料主要是石化和煤化工生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的空分氣、低純度原料氣、廢氣等基礎(chǔ)化工原料。主要原材料來源廣泛，市場供應(yīng)充足，更容易從相關(guān)原材料供應(yīng)商處獲得。我國大型鋼鐵企業(yè)和化肥企業(yè)基本配備空分設(shè)備，空分氣供應(yīng)量大，價格穩(wěn)定。在石化和煤化工行業(yè)中，專用電子氣的原料氣消耗量占原料氣產(chǎn)量的一小部分。一個穩(wěn)定的石化和基礎(chǔ)化工行業(yè)可以為特種電子氣體行業(yè)提供充足的原材料。“十三五”規(guī)劃明確了環(huán)境保護和工業(yè)廢氣排放的目標(biāo)，對上游產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)將充足。由于氣體容器可以長期使用，它們在電子氣體成本中所占比例相對較小，價格波動對行業(yè)影響不大。

電子氣體的分類和應(yīng)用

電子產(chǎn)品的制造過程中廣泛使用了多種類型的電子氣體。目前，電子氣體有60多種純氣體和80多種混合氣體。電子氣體可分為純氣體、高純度氣體和半導(dǎo)體特種材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜、蝕刻等工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。

電子氣體主要用于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域，國內(nèi)市場需求80億元。據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，2019年國內(nèi)電子專用氣體需求達到80億元，其中集成電路專用氣體需求35億元，飛機顯示器專用氣體需求22億元，太陽能電池需求8億元。