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電子特氣—三氟碘甲烷蝕刻技術

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2018-06-21 11:17:00【

三氟碘甲烷作為滅火劑具有滅火效率高、安全性能好、經(jīng)濟效用高、滅火后不留痕跡等特點,是哈龍1301優(yōu)選替代品種,經(jīng)NFPA的標準認證,可正式使用。在航空、航天等領域具有不可替代的作用。作為制冷劑,三氟碘甲烷不燃,具有油溶性和材料相容性很好的特點,被認為是傳統(tǒng)氟利昂制冷劑組元的理想替代品之一。另外,三氟碘甲烷在含氟中間體、半導體蝕刻、發(fā)泡劑等其它領域也具有廣泛的應用前景。

 
三氟碘甲烷(CF3I)作為半導體刻蝕氣體用于3D NAND Flash先進制程,與同種刻蝕氣體CF4,C4F6相比,三氟碘甲烷(CF3I)具有高選擇性和高深寬比。三氟碘甲烷(CF3I)作為電氣設備絕緣與滅弧氣體用于溫室氣體SF6的替代,絕緣強度大約為SF6的1.23 倍以上,擊穿分解后不會產(chǎn)生有毒產(chǎn)物。三氟碘甲烷(CF3I)作為滅火劑主要用于哈龍滅火劑的替代,具有滅火效率高、安全性能好、經(jīng)濟效用高、滅火后不留痕跡等特點。三氟碘甲烷作為制冷劑主要用于傳統(tǒng)氟利昂制冷劑CFCs、HCFCs、HFCs的替代,具有不燃、油溶性和材料相容性很好的特點,已被聯(lián)合國列入第3 代環(huán)保制冷劑的主要組元。
 
此外,三氟碘甲烷還能與有機金屬試劑作用,是有機合成中引入氟代甲基的重要含氟中間體,可廣泛應用于有機合成、生物化學、農(nóng)藥、醫(yī)藥、表面活性劑和染料等領域。
 
三氟碘甲烷,又稱三氟甲基碘(以下稱CF3I),分子式CF3I,代號FIC-13I1、Freon13I1、R–1311。其環(huán)保特性優(yōu)異:ODP值為在0.0001以下,GWP值為1,大氣壽命小于1.2天。具備安全性好,無毒、阻燃、油溶性和材料相容性好等特點。
 
目前,CF3I的生產(chǎn)、純化技術一直由發(fā)達國家化學品公司壟斷,嚴重依賴進口,受控于國際市場,價格高,訂貨周期長、運輸困難。國內CF3I的研究、生產(chǎn)尚處于初步階段。伴隨著國際環(huán)保公約階段性強制推行,國內對溫室氣體減排要求提高,低GWP氣體CF3I備受推崇,隨著CF3I的應用開發(fā)日益增加,作為滅火劑、混合制冷成分、刻蝕劑、絕緣氣體、含氟中間體等使用,其市場需求明顯增加,國產(chǎn)化規(guī)模生產(chǎn)技術的開發(fā)日益迫切。
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