面對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來(lái)的溫室氣體排放問(wèn)題和地緣政治問(wèn)題引起的特殊氣體供求問(wèn)題，韓國(guó)專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。

近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體和顯示器工藝使用的特殊氣體處理方法主要有洗滌器(Scrubber)焚燒、氣體替代、改進(jìn)工藝等三類方案。然而，大多數(shù)都是洗滌器處理而不是回收再利用。

顯示器行業(yè)在從LCD到OLED的技術(shù)轉(zhuǎn)換過(guò)程中六氟化硫很難用三氟化氮代替，溫室氣體排放量繼續(xù)增加、因此對(duì)工程排放氣體處理仍有很多苦惱。大部分PFC（全氟化合物）材料都含有氟，對(duì)于這類特種氣體的回收，需要進(jìn)行分離和精制技術(shù)。目前，反應(yīng)后的剩余材料很難回收再利用，所以主要是進(jìn)行廢棄處理，但缺點(diǎn)是費(fèi)錢（增加公司運(yùn)營(yíng)成本）。用于清洗和蝕刻的氣體如六氟化硫和四氟化碳是穩(wěn)定的化合物，難以在洗滌器中去除，因不完全燃燒而釋放到大氣中的情況時(shí)有發(fā)生。全球氣體公司和半導(dǎo)體公司試圖回收高純度含氟氣體，但大多以失敗告終。

韓國(guó)代表表示，是時(shí)候該考慮排放的特種氣體回收再利用技術(shù)了。他說(shuō)，“對(duì)于回收，我們需要通過(guò)結(jié)合各種分離技術(shù)的能源優(yōu)化工藝設(shè)計(jì)來(lái)解決問(wèn)題。這些工藝改進(jìn)，雖然很難適用于所有情況，但特定工藝中的某些氣體將是可重復(fù)使用的。”他還介紹了一種利用液氮冷卻熱分離純化PFCs的新工藝，并解釋說(shuō)三氟化氮和四氟化碳通過(guò)固化分離很容易分離，回收的氣體可以再利用。他認(rèn)為，由于低溫過(guò)程較弱，最終分離是可能的，因?yàn)樵陧n國(guó)實(shí)施這項(xiàng)技術(shù)已有先例。如果開(kāi)發(fā)回收技術(shù)，在排放方面，分離并回收再利用，半導(dǎo)體和顯示行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力將會(huì)通過(guò)降低成本加以增強(qiáng)。