高純硅烷的品質(zhì)無統(tǒng)一規(guī)定,各個生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質(zhì)通常有微小差別。下標(biāo)是5N、6N級高純硅烷和普通硅烷品質(zhì)指標(biāo)。
從表中可以看出,5N級硅烷除氫氣、
氦氣外,雜質(zhì)氣體氧(氬)、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv,其他雜質(zhì)氣體均在0.2ppmv。
6N級硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個數(shù)量級,氯化物甚至達(dá)到了15ppmv,高了兩個數(shù)量級。