氦質(zhì)譜檢漏儀是一種質(zhì)譜儀，使用高純度氦作為泄漏氣體，并使用氣體分析儀檢測氦進行泄漏檢測。是國內(nèi)外應(yīng)用的先進真空罐檢漏技術(shù)。與常規(guī)檢漏技術(shù)相比，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)具有快速、準(zhǔn)確、靈敏度高、無損傷等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。然而，通常使用氦，因為它具有以下特性：

1.空氣中的氦含量很低，只有約120萬，很容易找到；

2.氦分子小，重量輕，易于擴散，比其他氣體更容易通過泄漏孔；

3.氦離子的荷質(zhì)比小，易于質(zhì)譜分析；

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4.氦無毒無味，對大氣無污染。

5.氦氣是一種化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的惰性氣體，不會腐蝕和損壞設(shè)備；

6.氦無毒、不凝結(jié)，極難在水中儲存。

由于氦具有上述特性，科研機構(gòu)已將氦泄漏檢測應(yīng)用于工業(yè)企業(yè)，甚至個人企業(yè)?？梢哉f，應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。