高純氣體的常見雜質有哪些?
    常規(guī)雜質：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O
    特殊雜質：顆粒物、油份、金屬離子、同位素物質污染、亞穩(wěn)態(tài)物質污染

    雜質來源：原料污染、生產工藝副產物、工藝失效污染、過程污染

    環(huán)境帶入：空氣組分(O2, N2, Ar, CO2), 水分

    生產裝置，管路，充裝裝置帶入：水分，金屬元素，顆粒物，油份
    生產工藝富集
    包裝污染
    殘氣污染
    包裝本身帶入污染：水分，金屬元素，顆粒物
    分解聚合污染