伴隨著能源危機的不斷加劇，國家關(guān)于清潔動力的展開越來越重視，光伏工業(yè)作為清潔動力的代表之一，敏捷占領(lǐng)市場并廣受好評。跟著全球光伏商場的爆發(fā)性增長，作為光伏原料的多晶硅市場也是車水馬龍，而多晶硅制備技術(shù)也在不斷推陳出新，其中，改善西門子法、硅烷法、流化床法是市場應(yīng)用最多的辦法。

現(xiàn)在來說，成功完成多晶硅商業(yè)化出產(chǎn)的流化床裝置都采用了硅烷流化床，其原料為硅烷與氫氣。硅烷易與其他氯硅烷別離，本身分化溫度低，分化率高，副反應(yīng)少，這就賦予了硅烷流化床法很大的優(yōu)勢：精餾、尾氣處理工序簡單，能耗和單體出資都能大大降低，反應(yīng)轉(zhuǎn)化率挨近100%，流化床電耗僅為改善西門子法的10%~20%。別的，由于反應(yīng)徹底，副反應(yīng)少，整個反應(yīng)系統(tǒng)可以做到徹底閉路循環(huán)。

流化床法一般是以硅烷或氯硅烷作為硅源氣、以氫氣作為載氣，在流化床反應(yīng)器內(nèi)預(yù)先放置的硅籽晶上發(fā)生氣相堆積反應(yīng)。跟著出產(chǎn)進行，從流化床底部不斷排出長大的顆粒硅產(chǎn)品，一同從頂部添加適量的硅籽晶。

我們知道，多晶硅按純度要求分為金屬級、電子級（EG）和太陽能級（SOG），特別是關(guān)于電子級而言，要求多晶硅的純度在11N。這就對多晶硅出產(chǎn)辦法的產(chǎn)品純度提出了難題。

由于關(guān)于產(chǎn)品純度的苛刻要求，流化床法出產(chǎn)進程比其他流態(tài)化進程更為復(fù)雜，對裝備制作也提出了更高的要求。

在反應(yīng)進程中，硅烷氣進入流化床后會敏捷分化，一部分發(fā)生異相反應(yīng)，堆積至硅顆粒外表；另一部分發(fā)生均相反應(yīng)，生成氣相微核，該微核經(jīng)過一系列聚合長大進程生成硅粉，在此聚合進程中還有一定份額粘附到硅顆粒外表，成為顆粒硅產(chǎn)品的一部分。這個復(fù)雜的進程導(dǎo)致了顆粒硅出產(chǎn)中某些問題會無法防止。