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氦氣是理想的檢漏氣體

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2022-09-23 14:56:00【

 首先,因?yàn)樽钔鈱拥碾娮邮呛?,氦只有一個電子層,所以第一個電子層是2,這意味著已經(jīng)獲得了穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。因此,氦的化學(xué)性質(zhì)相對穩(wěn)定,不易反應(yīng)或爆炸。在一些有價值的設(shè)備中,如飛機(jī)和宇宙飛船,氦是首選的泄漏檢測氣體。然而,氦在自然界中儲量很少,而且價格昂貴。為了節(jié)省成本,一些公司選擇氫氣和氮?dú)饣旌蠚怏w作為檢漏氣體,或直接使用氮?dú)庾鳛闄z漏氣。

半導(dǎo)體中氦的泄漏檢測

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路和其他組件的表面因廢水和蒸汽等雜質(zhì)而退化,必須使用管殼進(jìn)行密封。然而,由于各種原因,殼體的密封部分或?qū)Ь€接頭上經(jīng)常出現(xiàn)一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小孔。因此,在包裝組件后,必須采取一些方法來檢測這些小孔的存在。氦泄漏檢測使用氦來檢查電子元件外殼上的小泄漏。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿過小孔并穿透外殼,因此這種檢測方法可以檢測到尺寸很小的小孔(即可以檢測到漏氣率約為10的小孔)−11~10−12cm3/sec,靈敏度可以與放射性泄漏檢測方法相一致,但它比放射性泄漏檢測方法更容易。氦氣檢漏試驗(yàn)方法:首先將包裝好的部件放在充滿氦氣的容器中,并對其施加壓力,使氦氣通過一個小孔滲入殼體;然后取出,用壓縮空氣吹走管殼表面剩余的氦氣;然后使用質(zhì)譜儀檢測管殼外表面的氦泄漏。

 

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