氦氣是理想的泄漏檢測(cè)氣體

首先，因?yàn)楹さ淖钔鈱与娮邮?，而氦只有一層電子，第一層電子是2。這意味著已經(jīng)達(dá)到了穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。因此，氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)穩(wěn)定，不容易反應(yīng)、爆炸等。在一些更有價(jià)值的設(shè)備中，如飛機(jī)、航天器等，我更喜歡使用氦氣作為泄漏檢測(cè)氣體。然而，氦在自然界中的儲(chǔ)量較少，成本較高。因此，為了節(jié)省成本，一些公司還選擇氫氣和氮?dú)獾幕旌衔镒鳛闄z漏氣體，或者直接選擇氮?dú)庾鳛闄z漏氣體。
氦泄漏檢測(cè)在半導(dǎo)體中的作用
為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路和其他部件的表面性能因水蒸氣等雜質(zhì)而惡化，有必要使用外殼密封。然而，由于各種原因，在管和外殼或探針的連接處通常會(huì)有肉眼難以識(shí)別的小孔。因此，在封裝部件之后，需要一些方法來(lái)檢測(cè)這些小孔的存在或不存在。氦泄漏檢測(cè)包括使用氦來(lái)檢查電子元件封裝管殼中的小孔。由于氦原子的體積很小，它們很容易穿過(guò)管殼上的小孔。這種檢測(cè)方法可以檢測(cè)漏氣率約為10-11至10-12cm3/sec的小孔，其靈敏度可以與放射性泄漏檢測(cè)方法相媲美，但比放射性泄漏檢測(cè)法更簡(jiǎn)單。氦氣泄漏檢測(cè)測(cè)試方法：首先，將封裝好的部件放入充氦容器中，加壓，使氦氣通過(guò)小孔進(jìn)入管殼；然后提取出來(lái)，用壓縮空氣吹出管殼表面殘留的氦氣；然后，使用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)氦泄漏到管殼外部。