天然氣行業(yè)術(shù)語。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類：純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。根據(jù)純度和用途，電子氣體可分為電子級(jí)、LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)、VLSI（超大規(guī)模集成電路）和ULSI（超大規(guī)模電路）級(jí)。

優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術(shù)發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)材料，特別是在VLSI、LCD器件、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的“血液”和“谷物”。其純度和清潔度直接影響光電子和微電子元件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和產(chǎn)量，并從根本上限制了電路和器件的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。

近年來，隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求大幅增加，特種電子氣體國(guó)產(chǎn)化已成為大勢(shì)所趨。很明顯，中國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得了可喜的進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純度氨改變了外國(guó)天然氣公司的市場(chǎng)壟斷格局，高純度四氟化氫“有價(jià)值但不可用”的時(shí)代已經(jīng)結(jié)束，高純度氯化氫成功打開了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。