工業(yè)上六氟化硫通常是由電解產生的氟在中高溫下與硫反應來制備的, 除六氟化硫外, 還生成少量的四氟化硫( SF4 ) 等副產物。氟硫直接合成六氟化硫的方法可以分為氟氣與固體硫磺、與熔融硫磺、與硫磺蒸氣三種方式: 氟氣與固體硫磺反應,由于氟硫反應是很激烈的放熱反應, 其反應溫度不易控制, 導致副產物增加而加重后處理負擔。 另外對密封的反應器來說, 向其內連續(xù)地加入固體硫磺也很困難, 故該方法不適用于工業(yè)化生產。氟氣與硫磺蒸氣反應, 是將硫磺加熱到445 ℃ (沸點)以上, 使硫變成蒸氣送入反應器與氟反應, 同樣也存在著反應溫度很難控制的缺陷, 其反應溫度可達600 ℃以上, 必須采用特殊的反應器材質, 這種方法也不適用于工業(yè)化生產。氟氣與熔融硫磺反應, 是將反應器中的硫磺保持在85～105 ℃的熔融狀態(tài)下與通入的氟氣反應的。此法反應溫度較易控。