六氟化硫氣體或再生氣體的含水量應嚴格控制，不得超過國家標準。在操作過程中，高純度六氟化硫的含水量可能較高，但不能超過六種氣體操作的國家標準值。重新充氣時，在使用前重新測量儲存半年以上的氣瓶的微水含量。國家標準中高純六氟化硫氣體的含水量不得超過8ppmw。

改善六氟化硫氣體高壓電器在組裝、維護和檢查過程中的環(huán)境條件，監(jiān)測環(huán)境濕度，施工現(xiàn)場濕度不得超過80%。安裝和維護人員必須遵守相關工藝的要求，在施工現(xiàn)場進行組裝和維護，以保持設備中絕緣部件和組件的清潔度，因為如果絕緣部件表面存在一些污垢，絕緣部件的表面絕緣電阻降低到幾個數(shù)量級。這導致絕緣部件的表面放電應力大大降低。

試驗和理論分析證明，如果絕緣體表面不存在可降低絕緣電阻的污垢，則冷凝液本身不會顯著降低其表面絕緣能力。換言之，在組裝和維護期間，必須保持絕緣部件表面清潔。組裝前，可用丙酮清潔表面，使用期間絕緣零件的表面也必須保持清潔。必須妥善維護六氟化硫氣體管道。充氣前，必須徹底沖洗管道，以防止?jié)駳膺M入設備。

水分對高純度六氟化硫氣體和設備有很大影響。sf6氣體中的水分含量直接關系到氣體絕緣電阻的水平和設備的安全運行。在設備中，必須嚴格控制氣體中的微水含量。只有將SF6氣體中的微水含量控制在國家標準規(guī)定的范圍內，才能減少水對SF6氣體和設備的影響，確保氣體絕緣強度的穩(wěn)定性和設備的安全運行。