六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)，在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑（操作溫度－45~0℃之間）。由于對α粒子有高度的停止能力，還用于放射化學(xué)。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

六氟化硫還可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝，也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業(yè)中，可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導(dǎo)體材料上的有機(jī)或無機(jī)膜狀物，并可在光導(dǎo)纖維的制造過程中，作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高，且不易燃燒，另外，六氟化硫還用于各種加速器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。目前六氟化硫是應(yīng)用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑，示蹤距離可達(dá)100km。六氟化硫化學(xué)穩(wěn)定性好，對設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45～0℃之間)，作制冷劑替代氟利昂，對臭氧層完全沒有破壞作用，符合環(huán)保和使用性能的要求，是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ闹评鋭Ｓ米麟姎饨^緣介質(zhì)和滅弧劑，測定大氣污染程度的示蹤劑。
 

六氟化硫主要用于高壓開關(guān)中滅弧，在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用?？稍诤肆Ｗ蛹铀倨骷氨芾灼鱔射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好，對設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對α-粒子有高度的停止能力，故在放射化學(xué)中也有應(yīng)用；也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
 

六氟化硫還可用作電子設(shè)備和雷達(dá)波導(dǎo)的氣體絕緣體。
 

六氟化硫是一種窒息劑，在高濃度下會(huì)呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍(lán)、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會(huì)出現(xiàn)四肢麻木，甚至窒息死亡 。我國規(guī)定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m 3 或空氣中氧含量應(yīng)大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m 3 。六氟化硫在藥理上是惰性氣體，低毒但對人體有窒息作用。在生活或使用過程中會(huì)分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。
 

所以一定要注意六氟化硫的防范，采用合適的六氟化硫氣體檢測儀，它廣泛適用于采油、冶煉、化工、市政、污水處理、電力、煤氣、采礦、隧道施工、消防、倉儲(chǔ)、造紙、制藥、釀造等有毒有害氣體濃度的場所。以免出現(xiàn)中毒情況。