六氟乙烷又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。
六氟乙烷常用于半導體的生產(chǎn)，主要用于一種具多功能的蝕刻技術，它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷還可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
六氟乙烷的制備方法主要有一下幾種：
1、電化學氟化法，乙炔、乙烯或乙烷在點解條件下氟化。
2、熱解法，通過四氟乙烯和二氧化碳之間的熱分解反應制備。
3、金屬氟化物氟化法，如乙炔、乙烯和乙烷與金屬氟化物進行反應。
4、氟化氫催化氟化法，催化劑存在下氟化全鹵代乙烷化和物。以生產(chǎn)五氟乙烷過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物與氯氣為原料，光化法生成五氟一氯乙烷，制得的五氟一氯乙烷與氟化氫通過液相氟化銻催化制備六氟乙烷。
5、直接氟化法，活性炭、乙炔、乙烷和五氟乙烷等氣體直接與氟氣反應。
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