如何儲存超高純氮氣

諸如氮氣的超高純度氣體通常用作集成電路、半導(dǎo)體和電子真空器件制造中的保護氣體和載氣，用作化

學(xué)氣相沉積中的載氣，用于液體擴散源的載氣以及用作高溫擴散爐中設(shè)備的保護氣體。

在外延、光刻、純化和蒸發(fā)等工藝中，高純度氮氣被用作擠出、干燥、儲存和運輸?shù)臍怏w。在圖像管的

生產(chǎn)中，氮的純度必須在99.99%以上。在空間技術(shù)中，液氫填充系統(tǒng)必須首先用高純度氮代替，然后用

高純度氮氣代替。

對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體儲存和運輸過程中的清潔度和高密封

性尤為重要。最純凈的氣體主要儲存和運輸在高壓鋼瓶或低溫液化氣罐中。

高壓鋼瓶堅固耐用，運輸使用靈活，沒有氣體損失，但氣體純度和穩(wěn)定性較差；低溫液化氣容器每體積單

位具有較大的儲存容量，但存在氣體排放損失。