如何儲(chǔ)存超高純氮?dú)?/h1>

文章出處：責(zé)任編輯：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2023-07-20 10:59:13【大 中 小】

如何儲(chǔ)存超高純氮?dú)?

諸如氮?dú)獾某呒兌葰怏w通常用作集成電路、半導(dǎo)體和電子真空器件制造中的保護(hù)氣體和載氣，用作化

學(xué)氣相沉積中的載氣，用于液體擴(kuò)散源的載氣以及用作高溫?cái)U(kuò)散爐中設(shè)備的保護(hù)氣體。

在外延、光刻、純化和蒸發(fā)等工藝中，高純度氮?dú)獗挥米鲾D出、干燥、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)臍怏w。在圖像管的

生產(chǎn)中，氮的純度必須在99.99%以上。在空間技術(shù)中，液氫填充系統(tǒng)必須首先用高純度氮代替，然后用

高純度氮?dú)獯妗?

對(duì)于超純氣體，任何微小的污染都會(huì)嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中的清潔度和高密封

性尤為重要。最純凈的氣體主要儲(chǔ)存和運(yùn)輸在高壓鋼瓶或低溫液化氣罐中。

高壓鋼瓶堅(jiān)固耐用，運(yùn)輸使用靈活，沒有氣體損失，但氣體純度和穩(wěn)定性較差；低溫液化氣容器每體積單

位具有較大的儲(chǔ)存容量，但存在氣體排放損失。

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