自 20 世紀(jì) 20 年代發(fā)現(xiàn)以來(lái)，四氟化碳 (CF4)憑借其獨(dú)特的特性得到了廣泛的用途。以下是這種無(wú)機(jī)化

合物的一些主要應(yīng)用：

電氣絕緣 - CF4 具有高介電強(qiáng)度，非常適合變壓器和斷路器等高壓電氣設(shè)備的絕緣。它能抵抗電弧并具

有出色的冷卻能力。

鋁生產(chǎn) - CF4 用于穩(wěn)定鋁冶煉槽中的碳陽(yáng)極。通過(guò)形成氟化物保護(hù)層，可以延長(zhǎng)必須承受高溫的陽(yáng)極的

使用壽命。

半導(dǎo)體蝕刻 - 半導(dǎo)體行業(yè)在芯片制造過(guò)程中嚴(yán)重依賴 CF4 對(duì)硅晶圓進(jìn)行干法蝕刻。 CF4 產(chǎn)生反應(yīng)性氟

自由基，非常適合各向異性蝕刻。

痕量氣體檢測(cè) - 電子捕獲檢測(cè)等超靈敏技術(shù)使用 CF4 來(lái)檢測(cè)濃度極低的化合物。 CF4 捕獲微量帶負(fù)電

的分析物。

宇宙射線探測(cè) - CF4 填充的時(shí)間投影室能夠探測(cè)中微子和其他宇宙射線。CF4 氣體分子捕獲相互作用

射線留下的電離痕跡。

從變壓器中的惰性氣體到超靈敏的實(shí)驗(yàn)室示蹤劑，四氟化碳以多種生產(chǎn)方式利用其惰性、介電特性和

高氟含量。然而，其對(duì)全球變暖的影響要求對(duì)其使用進(jìn)行負(fù)責(zé)任的管理。

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