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四氟化碳供應(yīng)

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2024-02-06 09:24:31【

四氟化碳供應(yīng)

四氟化碳


四氟化碳是微電子工業(yè)中使用最多的等離子燭刻氣體,其高純氣和四氟化碳高純度與高純度氧氣混合。

1. 可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢膜材料燭刻。對(duì)于硅和二氧化硅系統(tǒng),通過(guò)調(diào)

整兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅格柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)非常有用。


2. 還廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備表面清潔、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢測(cè)劑、

控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面。


3. CF4由于其強(qiáng)大的化學(xué)穩(wěn)定性,也可用于金屬冶煉和塑料工業(yè)。

4. 四氟化碳具有良好的溶解氧,因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn),而不是普通的壓縮空氣。目前,

它已經(jīng)在老鼠身上取得了成功,在275米到366米的深度內(nèi),老鼠仍然可以安全地脫離危險(xiǎn)。


儲(chǔ)存四氟化碳
1. 氣瓶的使用和檢驗(yàn)符合國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)督條例》的規(guī)定。
2. 氣瓶不得靠近火源,不得暴露在陽(yáng)光下,與明火的距離一般不小于10米,氣瓶不得撞擊。
3. 氣瓶的瓶子嚴(yán)禁沾油。
4. 氣瓶?jī)?nèi)的氣體不能全部用盡,應(yīng)留下不小于0.04MPa的剩余壓力。

四氟化碳鋼瓶采用鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶包裝,產(chǎn)品純度99.999%。武漢紐瑞德氣體公司多年來(lái)一直專業(yè)供

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