四氟化碳?xì)怏w在微電子蝕刻中的應(yīng)用解析

四氟化碳?xì)怏w，化學(xué)型為CF4，常溫常壓下為無色氣體，不溶于水，溶于苯和氯仿。主

要用于微電子工業(yè)，作為等離子蝕刻氣體。具體來說，可用于硅、二氧化硅、氮化硅、

磷硅玻璃、鎢等薄膜材料的蝕刻。廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備表面清洗、太陽能電池生產(chǎn)、激

光技術(shù)、低溫制冷等領(lǐng)域。此外，四氟化碳還用于各種集成電路的等離子蝕刻工藝，也

用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑等。


深入講解四氟化碳?xì)怏w的蝕刻用途


特種氣體在純度、成分、有害雜質(zhì)含量最高、產(chǎn)品包裝和儲存等方面都有極其嚴(yán)格的

要求，屬于高科技、高附加值產(chǎn)品。目前，半導(dǎo)體行業(yè)有110多種特種氣體，常用氣

體有20-30種，原材料需求占比高達(dá)14%，僅次于大硅片。因此，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行

業(yè)的快速擴(kuò)張，對四氟化碳?xì)怏w的需求也在增加。

四氟化碳?xì)怏w是微電子制造中常用的蝕刻氣體，具有高效的蝕刻能力。在等離子表面

處理設(shè)備中，四氟化碳電離后會產(chǎn)生含氫氟酸的蝕刻氣相等離子體，能有效去除各種

有機(jī)表面的有機(jī)物，蝕刻等離子體。

在晶圓制造業(yè)中，光刻機(jī)利用四氟化碳?xì)怏w對硅片進(jìn)行線路蝕刻。同時，等離子體清

洗機(jī)利用純四氟化碳?xì)怏w或四氟化碳?xì)怏w與氧氣配合，對晶圓制造中的氮化硅進(jìn)行微

米級蝕刻，或利用四氟化碳?xì)怏w與氧氣或氫氣配合去除微米級光刻膠。

此外，四氟化碳?xì)怏w也廣泛應(yīng)用于太陽能電池板制造領(lǐng)域。例如，它可用于硅、二氧

化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢的蝕刻。

在線路板制造業(yè)中，四氟化碳?xì)怏w也常用于蝕刻二氧化硅和氮化硅等介質(zhì)材料。四氟

化碳等氟有機(jī)物是主要的蝕刻氣體，它們在高電場下變成等離子體和自由季節(jié)(Radical)

,然后自由基與二氧化硅反應(yīng)完成蝕刻。

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