同位素硼：半導體工藝中的隱形英雄  

同位素：有?類物質具有相同的質?數(shù)，不同的中?數(shù)，它們占據(jù)化學元素

周期表的同?位置，我們稱之為同位素（Isotope）。

整個芯片行業(yè)比較大，專注于芯片制造過程中的離子注入等過程。硼-10(以

下簡稱“10B”)和硼-11(以下簡稱“11B”)在自然界中的比例是11。:但是在離子

注射過程中，需要高豐度的11B。所以，為了滿足所需的豐度，我們采用了

持續(xù)分離和去除10B的過程。舉例來說，我們產(chǎn)品硼的純度可以達到99.999%

，但是仍然不合格。盡管硼的純度很高，但是為了達到更高的純度11B，我

們仍然需要將10B的含量降低到更低的水平。
同位素硼的工業(yè)市場前景十分廣闊。同位素有10B和11B兩種，我們豐富的

10B能吸收中子，因此在核電行業(yè)，尤其是在安全環(huán)節(jié)，需求量很大。半導

體行業(yè)，雖然不需要10B，但對11B的需求卻很大。所以，如果我們在10B和

11B中獲得高豐，它不僅可用于核電行業(yè)，也可用于半導體行業(yè)。

有一種非常流行的方法叫做硼中子捕獲療法，簡稱BNCT，主要針對腦膠質

瘤。它是用10B吸收中子后的一種。α衰變，α衰變半徑很短，只是癌細胞的

半徑，從而破壞癌細胞。所以硼被廣泛使用。它需要半導體、核電和醫(yī)療。

只要它能分離出高豐度的硼，當然。
現(xiàn)在，人類已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了13種同位素硼，其中11種是放射性的，只有10B和11

B是穩(wěn)定的同位素，沒有放射性。在半導體和電子芯片制造過程中，10B具

有很強的中子吸收能力，而11B幾乎不吸收任何中子。這一差異決定了10B

作為核電和醫(yī)療領域的基礎材料，而三氟化硼-11氣體(以下簡稱11BF3)作為

高端半導體產(chǎn)品制造的電子特性，是半導體和電子芯片制造過程中的消耗材

料。

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