這是六氟化硫在工作和生產過程中產生有毒物質的一個條件，這些有毒物質不得滲透到水中。如果六氟化硫氣體含有的水分超過規(guī)定，當其濕度發(fā)生變化時，它可以凝結在固體絕緣表面上，使表面濕潤，然后設備的表面放電電壓會顯著下降。

如果沒有水分子，六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解產生的低氟復合氣體不會產生SO2、HF等有害物質，以避免它們引起設備腐蝕。因此，在填充六氟化硫時，必須采取嚴格措施防止水分進入設備。

開工前，必須確定施工現場周圍環(huán)境空氣的相對濕度。≤80%（即空氣中的水蒸氣與飽和水蒸氣在相同溫度下的密度比的百分比），這是含有水的六氟化硫氣體的具體指示。如果測量不合格，采取行動或重新選擇干燥晴朗的天氣進行填充。

為了及時排放和更換SF6泄漏氣體，必須在主端充滿時啟動風扇，空氣中的SF6含量不得超過1000ppm。檢查應在工作開始后的一段時間內進行，在適當情況下，檢查應在在中間進行。如果六氟化硫氣體含量增加或超過標準，必須立即徹底檢查部件，以確定并消除原因。