氬氣純化的方法

純度是評(píng)估氣體品質(zhì)的一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)于氣體而言尤為重要。作為一種惰

性氣體，氬氣被廣泛應(yīng)用于單晶和多晶生產(chǎn)的保護(hù)氣體中。為了確保硅

晶體的品質(zhì)，選擇高純度的氬氣至關(guān)重要。這不僅能夠延長(zhǎng)晶體的使用

壽命，還能夠滿足市場(chǎng)的需求。
一般來(lái)說(shuō)，氬氣的凈化是通過(guò)使用清潔裝置來(lái)完成的。氬氣的凈化方法

可以分為直接脫氧法和吸氣劑提純法兩種。
直接脫氧法：通過(guò)讓活性金屬與氬氣中的氧發(fā)生反應(yīng)，將氬氣中的氧分

解掉，從而實(shí)現(xiàn)脫氧的目標(biāo)。此外，利用分子篩吸附作用，可以去除氬

氣中的水分子，使得氬氣的水含量控制在小于1ppm以下。
清潔吸氣劑的方法：使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑能夠與氣體中

微小的雜質(zhì)結(jié)合，使氣體變得更加純凈。通過(guò)使用吸氣劑凈化方法處理

，高純度氬氣的純度可達(dá)到六個(gè)九。
以上列出的兩種方法是對(duì)氬氣凈化方法的簡(jiǎn)要介紹。相較而言，吸氣劑

清洗方法對(duì)設(shè)備的投資較大，但能夠達(dá)到更高的純度。這一方法在工業(yè)

領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。