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蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬復(fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程?？涛g的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形?？涛g分為濕法蝕更多 +
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六氟乙烷的制備方法
六氟乙烷又稱全氟乙烷，是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴（化學(xué)式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。 六氟乙烷常用于半導(dǎo)體的生產(chǎn)，主要用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷還可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。 六氟乙烷的制備方法主要有一下幾種：更多 +
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乙烷價(jià)格創(chuàng)下13個(gè)月以來新高
據(jù)最新消息，美國墨西哥灣沿岸地區(qū)市場(chǎng)的乙烷價(jià)格已經(jīng)飆升至過去13個(gè)月來的新高，主要是受到兩方面原因的影響，其一是近來美國天然氣價(jià)格出現(xiàn)強(qiáng)勁上揚(yáng)，其二是在該地區(qū)一些乙烷裂解裝置即將投產(chǎn)，現(xiàn)貨市場(chǎng)購買力強(qiáng)勁。 安迅思公司(ICIS)評(píng)估周五(1月12日)美國1月份交付的乙烷價(jià)格上漲至28美分/加侖(FOB Mont Belvieu)，而前一周的價(jià)格為24.50美分/加侖，一個(gè)月前的價(jià)格僅為19.5美分/加侖。這個(gè)價(jià)格水平是自2016年12月23日以來的最高價(jià)格。 乙烷氣體性質(zhì)更多 +
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環(huán)氧乙烷成本線往下游徘徊
近期，國內(nèi)環(huán)氧乙烷處于上行通道中，乙烯的強(qiáng)勢(shì)加之乙二醇的暴漲，均成為推動(dòng)環(huán)氧乙烷上行的主要因素。截至目前，環(huán)氧乙烷較去年同期增長8%，而部分下游漲幅較去年同期超過14.9%，所以目前環(huán)氧乙烷風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)逐步向下游轉(zhuǎn)移。近期，國內(nèi)環(huán)氧乙烷處于上行通道中，乙烯的強(qiáng)勢(shì)加之乙二醇的暴漲，均成為推動(dòng)環(huán)氧乙烷上行的主要因素。截至目前，環(huán)氧乙烷較去年同期增長8%，而部分下游漲幅較去年同期超過14.9%，所以目前環(huán)氧乙烷風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)逐步向下游轉(zhuǎn)移。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊：，或者撥打我們的熱線電話：400-6277-838 &nb更多 +
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亞洲地區(qū)醫(yī)用氣體及設(shè)備的發(fā)展前景
醫(yī)用氣體就是間接或直接應(yīng)用在醫(yī)療行業(yè)的氣體，醫(yī)用氣體設(shè)備指的是用于生產(chǎn)醫(yī)療氣體的設(shè)備。此外，醫(yī)用氣體還主要作為冷卻劑和消毒劑直接用于患者或醫(yī)療過程中。 更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊：，或者撥打我們的熱線電話：400-6277-838 全球醫(yī)用氣體可劃分為醫(yī)用純氣體和醫(yī)用混合氣體兩部分。醫(yī)用純氣體主要有6種，即醫(yī)用空氣、二氧化碳、氧氣、氮?dú)狻⒁谎趸秃?；醫(yī)用混合氣體主要有10種，即：二氧化碳-氧氣混合物、一氧化二氮-氧氣混合物、環(huán)氧乙烷、環(huán)氧乙烷和HCFC-124更多 +
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環(huán)氧乙烷殺菌氣體的滅菌原理
環(huán)氧乙烷滅菌氣體作為低溫滅菌最常用的一種滅菌方法。環(huán)氧乙烷滅菌在醫(yī)療器械產(chǎn)品滅菌領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。由于環(huán)氧乙烷氣體的活潑型，殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣，對(duì)物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn)，環(huán)氧乙烷和二氧化碳的混合氣體已成為目前最主要的日常低溫滅菌方法之一。更多 +
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國內(nèi)最大乙烯氣體裂解爐在中國石化成功投用
國內(nèi)最大20萬噸/年氣體裂解爐于6月29日在鎮(zhèn)海煉化完成性能考評(píng)。至此，這臺(tái)具有中國石化完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氣體裂解爐已穩(wěn)定運(yùn)行8天，這標(biāo)志著中國大乙烯自主創(chuàng)新成套技術(shù)含金量再提升，打造煉化技術(shù)國家新名片再添“金砝碼”。更多資訊請(qǐng)點(diǎn)擊，或者請(qǐng)撥打我們的熱線電話：400-6277-838 氣體裂解爐采用中國石化自有CBL裂解技術(shù)，有四大創(chuàng)新亮點(diǎn)。亮點(diǎn)之一：“規(guī)模最大”。該爐是國內(nèi)首臺(tái)20萬噸/年大型氣體裂解爐，當(dāng)裂解原料為乙烷更多 +
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四氟乙烷電漿與八氟環(huán)丁烷電漿沉積特性小議
四氟乙烷是當(dāng)前世界絕大多數(shù)國家認(rèn)可并推薦使用的環(huán)保制冷劑，也是目前主流的環(huán)保制冷劑，廣泛用于新制冷空調(diào)設(shè)備上的初裝和維修過程中的再添加。用作食品氣霧噴射劑、介質(zhì)氣體，也用于替代CFC-12的混合制冷劑的組分之一。對(duì)臭氧層無破壞作用，但是是一種強(qiáng)烈的溫室氣體，其全球變暖潛能值達(dá)10300。最近有科學(xué)家對(duì)四氟乙烷電漿與八氟環(huán)丁烷電漿沉積特性進(jìn)行了比較和探討。更多 +
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紐瑞德特氣帶您一覽烷類氣體
我們常常聽到甲烷、乙烷、丁烷、環(huán)氧乙烷等等帶有“烷”字的氣體，其實(shí)它們都屬于烷類氣體。烷類氣體種類多樣，用途各異，屬于我們常用的氣體。今天紐瑞德特氣小編月月就為大家詳細(xì)介紹一下烷類氣體。更多 +
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二氟甲烷光電子光譜的理論研究
大家都知道甲烷，乙烷，丁烷這些常見的烷類氣體，但是大家聽說過甲烷的”親戚“二氟甲烷么？二氟甲烷，是一種鹵代烴（化學(xué)式：CH2F2），簡稱R32,也是鹵代甲烷的一種。它是甲烷的四個(gè)氫原子中的兩個(gè)被氟原子代替形成的化合物。今天紐瑞德特氣小編為大家介紹一下二氟甲烷光電子光譜的理論研究。更多 +
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