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高純氣體在半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)的應(yīng)用?
高純氣體工藝系統(tǒng)目前主要用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業(yè)。 高純氣體工藝系統(tǒng)的好壞會(huì)直接影響先進(jìn)制造行業(yè)中工藝設(shè)備的運(yùn)行及投產(chǎn)后的成品率。一個(gè)優(yōu)秀的高純氣體工藝系統(tǒng)設(shè) 企業(yè)如沃飛,能通過(guò)控制高純氣體的純度,實(shí)現(xiàn)其制程精度要求,保障并提升產(chǎn)品良率。 1、在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中高純氣體工藝系統(tǒng)的運(yùn)用 高純度的特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。更多 +
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常見(jiàn)高純氣體的用途
一、高純氧: 高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化; 與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì); 在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過(guò)程都需要氧,例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì),氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃,用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料,它比其他更多 +
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六氟化硫是什么?車間里如何防范?
六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測(cè)及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開(kāi)關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對(duì)設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)更多 +
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一周翻了5倍的稀有氣體——氖氣
氖氣(Ne),制造芯片的關(guān)鍵性材料,怎么個(gè)關(guān)鍵? 沒(méi)有光刻機(jī),做不出芯片。 沒(méi)有光刻氣,光刻機(jī)就是個(gè)模型。 氖氣,占光刻氣這種激光氣體混合物的96%以上。 氖氬氟等稀有氣體經(jīng)高壓受激發(fā)后形成等離子體,在這個(gè)過(guò)程中,由于電子躍遷,會(huì)產(chǎn)生固定波長(zhǎng)的光線,形成了剔除光刻膠的刀片。 除此之外,還有兩個(gè)好兄弟,氪氣(同樣用于光刻制程),氙氣(用于半導(dǎo)體刻蝕制程)。 一周內(nèi),氪氣漲幅約30%,目前主流價(jià)格在38000-42000元/方。氙氣漲幅約40%,主流價(jià)格在42萬(wàn)—45萬(wàn)/方。更多 +
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帶你了解一下我國(guó)的電子氣體
2018年全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45.12億美元,同比增長(zhǎng)16%,半導(dǎo)體用電子特氣行業(yè)增速高,龐大的市場(chǎng)規(guī)模,讓電子特氣的國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃全面加速! 什么是電子氣體呢? 電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料,被廣泛的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。 電子特氣按其本身化學(xué)成分可分為:硅系、砷系、磷系更多 +
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存儲(chǔ)芯片需求增長(zhǎng),2025年電子級(jí)稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時(shí)代的飛速發(fā)展中,海量數(shù)據(jù)的處理不僅對(duì)于芯片算力提出越來(lái)越高的要求,不斷累積的數(shù)據(jù)也需要更大、更快、延時(shí)更低的存儲(chǔ)介質(zhì)。電子工業(yè)中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲(chǔ)器高深寬比刻蝕工藝,從而實(shí)現(xiàn)多層堆疊結(jié)構(gòu)。預(yù)計(jì)2025年全球電子級(jí)稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML,較2020年增長(zhǎng)29%。 激光氣體主要用于電子工業(yè)中激光退火和光刻氣。光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,光刻定義了晶體管尺寸,光刻產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展是光刻機(jī)突破關(guān)鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導(dǎo)體更多 +
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特種氣體公司SK Materials一季度業(yè)績(jī)強(qiáng)勁增長(zhǎng)
韓國(guó)SK Materials近來(lái)發(fā)布了2020年榜首季度財(cái)報(bào),陳述期內(nèi)銷售收入2123億韓元(約12.23億人民幣),同比增加15.19%,凈贏利374億韓元(約2.15億人民幣),同比增加5.06%。盡管受COVID-19及榜首季度工業(yè)環(huán)境低迷的影響,但是特種氣體事務(wù)還是堅(jiān)持了安穩(wěn)贏利,SK昭和電工及Hanyu Chemical都為本季度供給了成績(jī)支撐。NF3銷售收入較上年同期下滑10%;WF6銷售收入較上年同期增加2%,硅族氣體/刻蝕氣體銷售收入較上年同期增加6%,工業(yè)氣體和上年相等,前驅(qū)體銷售收入較上年同期增更多 +
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電子特氣最全種類大全|紐瑞德電子特氣
電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝,其質(zhì)量對(duì)電子元器件的性能有重要影響。 氣體的產(chǎn)品種類豐富,電子元器件在其生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)氣體產(chǎn)品存在多樣化需求。就集成電路制造過(guò)程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類超過(guò) 50 種,且每一種工藝步驟中都會(huì)用到特定的氣體。此外,在顯示面板、LED、太陽(yáng)能電池片等器件的制造中的不同工藝環(huán)節(jié)均更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無(wú)機(jī)化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩(wěn)定,但是需要避免接觸強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃?xì)怏w,如果遇到高熱后會(huì)造成容器內(nèi)壓增大,有開(kāi)裂、爆炸危險(xiǎn)。通常常溫下只會(huì)與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽(yáng)能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄露檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等更多 +
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我國(guó)電子氣體發(fā)展的三大難點(diǎn)!
電子氣體是高科技產(chǎn)業(yè)重要的“源”資料,是集成電路制作過(guò)程中必不可少的要害支撐資料。據(jù)專業(yè)人士泄漏,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越,電子氣體的打破一定會(huì)是最重要的一環(huán)。 半導(dǎo)體制作過(guò)程中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運(yùn)用大量的電子氣體,且電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量影響很大。跟著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小(已經(jīng)走到10/7納米),對(duì)電子氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。因此,集成電路技能快速發(fā)展,對(duì)電子氣體的種類、數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)更多 +
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