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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝,蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體,電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡直為0,而且能完結(jié)納米級溝槽的加工,成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發(fā)團隊提出自主開發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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電子氣體中金屬雜質(zhì)的分析方法綜述
一、原子吸收光譜(AAS) 原子吸收光譜法是基于待測元素的基態(tài)原子蒸汽對其特征譜線的吸收,由譜線的特征性和信號強度對待測元素進行定性和定量分析的一種常用分析方法。該分析方法主要有四種類型:火焰原子吸收光譜分析法、石墨爐原子吸收光譜分析法、蒸汽發(fā)生原子吸收光譜分析法和流動注射原子吸收光譜分析法。其中,以前兩種分析方法最為常用。 原子吸收光譜法可以測定元素周期表中的大多數(shù)金屬和非金屬元素,火焰原子吸收法對大多數(shù)金屬元素的相對靈敏度為10−10~10&min更多 +
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電子氣體國產(chǎn)化,為何難以實現(xiàn)?
廣義的“電子氣體”指電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一;狹義的“電子氣體”特指半導(dǎo)體行業(yè)用的氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝,被稱為半導(dǎo)體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。 在硅片制造廠,一個硅片需要兩到三個月的工藝流程,完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序,需要的高純電子化學(xué)氣體及更多 +
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半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅猛,電子氣體迎來新機遇!
紐瑞德小編了解到,在9月13日召開的2018年中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會上,中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長于燮康介紹,上半年,中國集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)收入2726.5億元,同比增長23.9%。其中,集成電路制造領(lǐng)域收入737.4億元,同比增長29.1%。 中科院微電子研究所所長表示,集成電路制造既可以帶動國產(chǎn)裝備和材料發(fā)展,又可以服務(wù)于集成電路設(shè)計企業(yè),是集成電路產(chǎn)業(yè)的中樞環(huán)節(jié)。國內(nèi)集成電路制造工藝已取得長足進步,65納米、40納米、28納米工藝相繼量產(chǎn),14納米技術(shù)研發(fā)取得突破,特色工藝競爭力提高。&l更多 +
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電子氣體哪里用?
2018年是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化準備的關(guān)鍵期,到2025年,第三代半導(dǎo)體器件將在移動通信、高效電能管理中國產(chǎn)化率占50%;LED通用照明市場占有率達到80%,核心器件國產(chǎn)化率達到95%;第三代半導(dǎo)體器件在新能源汽車、消費類電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模應(yīng)用。第三代半導(dǎo)體是“重點新材料研發(fā)及應(yīng)用”重大項目的組成部分。 目前,我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,而微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的質(zhì)量要求極高,這促使了國內(nèi)特種氣體公司意識到了自有技術(shù)的重要性。我們將這個領(lǐng)域所使用的的氣體叫電子氣更多 +
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電子氣體將迎來新機遇
2015年8月至今“中興事件”愈演愈烈,本月起美國令所有美企禁止向中興出口零部件。這一事件在輿論場上引發(fā)深入討論,出口禁運觸碰到了中國通信產(chǎn)業(yè)缺乏核心技術(shù)的痛點。“缺芯少魂”的問題,再次嚴峻地擺在人們面前。 本次中興通訊的禁運事件,對于通信產(chǎn)業(yè)沖擊較大,也敲響了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的警鐘,自主可控不僅僅是口號,而是涉及到國家安全,國計民生的要務(wù)。我們更要支持本土芯片設(shè)計公司。而電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺更多 +
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最新電子級特種氣體生產(chǎn)項目落戶重慶市
近日,中歐電子氣體及材料公司電子級特種氣體生產(chǎn)項目簽約落戶重慶市長壽經(jīng)開區(qū)。 該項目由邦盟(日本)資本有限公司投資4.6億元,分兩期建設(shè)年產(chǎn)5735噸電子級特種氣體生產(chǎn)基地,計劃今年11月開工,2018年3月一期建成投產(chǎn),整個項目達產(chǎn)后將實現(xiàn)年產(chǎn)值約10億元。該項目為重慶市首個電子級特種氣體生產(chǎn)項目,主要生產(chǎn)六氟化鎢、三氟化氮等27種(類)電子級特種氣體,部分產(chǎn)品填補國內(nèi)空白,可滿足集成電路、液晶面板生產(chǎn)工藝對高純特種氣體的需求。未來,還將在渝建設(shè)電子級特種氣體研發(fā)中心及設(shè)備生產(chǎn)基地。該項目的落戶更多 +
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電子特氣產(chǎn)品開始全新突破
電子特氣被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個數(shù)量級,都會極更多 +
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林德電子向綠菱氣體授予2015年全球供應(yīng)商獎
林德集團 (The Linde Group) 旗下全球電子公司林德電子 (Linde Electronics) 今天宣布,綠菱氣體科技有限公司榮獲了2015年林德電子優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商獎 (Linde Electronics Preferred Supplier Award for 2015),以表彰該公司對林德電子的持續(xù)支持與承諾。綠菱氣體是中華人民共和國特種與電子氣體方面規(guī)模最大的一家獨立生產(chǎn)商與銷售商。更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 林德電子致力于通過更多 +
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電子氣體的發(fā)展將無法估量
我國特種氣體市場起步較晚,所以在技術(shù)領(lǐng)域較國外巨頭企業(yè)有一定的差距,也正是因為如此特種氣體市場長期被外企所壟斷。但近年來國內(nèi)電子氣體奮起直追,表現(xiàn)格外搶眼。伴隨著國民經(jīng)濟的發(fā)展,特別是21世紀后我國電子行業(yè)的突飛猛進,國內(nèi)特種氣體公司意識到了專有技術(shù)的重要性。我國在特種氣體生產(chǎn)、儲存等領(lǐng)域上取得了重要突破,特別是電子特氣目前基本實現(xiàn)了國產(chǎn)化,基本打破了國外企業(yè)的壟斷。更多信息請點擊,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促更多 +
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