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高純氣體在半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)的應(yīng)用?
高純氣體工藝系統(tǒng)目前主要用于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業(yè)。 高純氣體工藝系統(tǒng)的好壞會(huì)直接影響先進(jìn)制造行業(yè)中工藝設(shè)備的運(yùn)行及投產(chǎn)后的成品率。一個(gè)優(yōu)秀的高純氣體工藝系統(tǒng)設(shè) 企業(yè)如沃飛,能通過(guò)控制高純氣體的純度,實(shí)現(xiàn)其制程精度要求,保障并提升產(chǎn)品良率。 1、在泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中高純氣體工藝系統(tǒng)的運(yùn)用 高純度的特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。更多 +
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sf6氣體純度怎么測(cè)量
sf6具有良好的絕緣及滅弧性能,常用于斷路器、高壓傳輸線、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、互感器等高壓設(shè)備。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍,擊穿電壓是空氣的2.5倍,滅弧能力是空氣的100倍,是優(yōu)良的超高壓絕緣介質(zhì)材料。接下來(lái)我們一起看一下sf6氣體純度怎么測(cè)量。 sf6氣體純度怎么測(cè)量: 1、儀器的連接 將開關(guān)與測(cè)試管道充分連接,關(guān)閉測(cè)試管道針型閥,將測(cè)試管道快速接頭放在sf6純度分析儀的采樣口,排氣管道連接出氣口,開關(guān)接頭與sf6純度分析測(cè)量更多 +
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六氟化硫行業(yè)產(chǎn)能及應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化帶動(dòng)電子級(jí)SF6需求
六氟化硫(化學(xué)式為SF6)常態(tài)下是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、無(wú)嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性,在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。 根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域不同,六氟化硫可分為工業(yè)級(jí)六氟化硫以及電子級(jí)六氟化硫,近年來(lái),隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)提升,市場(chǎng)對(duì)電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來(lái)越高,在此背景下,六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級(jí)向電子級(jí)方向升級(jí)。 電子級(jí)六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應(yīng)用在半導(dǎo)體、面板顯示器件更多 +
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六氟化硫是什么?車間里如何防范?
六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測(cè)及其他部門用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對(duì)設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn)更多 +
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關(guān)于10kV配電室,不容忽視的六氟化硫
隨著電力輸、配、變網(wǎng)的全面改造與發(fā)展,在我們的生活圈里,大街上、小區(qū)里,隨處可見10KV配電室、開閉所。 是的,高壓設(shè)備與居民用電息息相關(guān),一直影響著我們的生活和環(huán)境。 目前,大多數(shù)10KV配電室、開閉所的主要設(shè)備是SF6(六氟化硫)環(huán)網(wǎng)柜,可以分為: 全絕緣SF6斷路器、半絕緣SF6斷路器、全絕緣SF6負(fù)荷開關(guān)、半絕緣SF6負(fù)荷開關(guān)。 為了方便理解,可以利用以下表格概括這幾類環(huán)網(wǎng)柜的不同特點(diǎn): 電網(wǎng)公司以及業(yè)擴(kuò)用戶會(huì)從環(huán)境條件、變壓器容量、配電房尺寸等維度綜合更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體的制備方法
一、稱量法 1、適用范圍:稱量法是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織推薦的方法,它只適用于組分之間、組分與氣瓶?jī)?nèi)壁不發(fā)生反應(yīng)的氣體,以及在實(shí)驗(yàn)條件下完全處于氣態(tài)的可凝結(jié)組分。 2、所需設(shè)備 配氣設(shè)備:真空泵,真空計(jì),高、低壓力表,閥門,氣瓶卡具,機(jī)箱。 稱重設(shè)備:高精密天平 二、滲透法 1、適用范圍:滲透法是適用于制備痕量的活潑氣體。是動(dòng)態(tài)配氣方法。 2、所需設(shè)備 配氣設(shè)備:滲透管,穩(wěn)壓閥,穩(wěn)流系統(tǒng),流量計(jì),溫度記錄儀表,閥門,管道,混合罐更多 +
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六氟化硫全封閉組合電器(GIS)簡(jiǎn)介
六氟化硫封閉式組合電器,國(guó)際上稱為“氣體絕緣開關(guān)設(shè)備”,簡(jiǎn)稱GIS。 它將一座變電站中除變壓器以外的一次設(shè)備,經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)有機(jī)地組合成一個(gè)整體。這些設(shè)備主要有:斷路器、隔離開關(guān)、母線、電壓互感器(PT)、電流互感器(CT)、進(jìn)、出線套管等。 GIS設(shè)備的所有帶電部分都被金屬外殼所包圍,它是用鋁合金、不銹鋼、無(wú)磁鑄鋼的材料組成。外殼用銅母線接地,內(nèi)部充有一定壓力的六氟化硫氣體。 接下來(lái)分別介紹各部件與其功能。 斷路器。斷路器組件由三臺(tái)箱式斷路器和操動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。每相滅弧室有獨(dú)立的絕更多 +
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六氟化硫斷路器(GCB)簡(jiǎn)介-紐瑞德特種氣體
六氟化硫斷路器,簡(jiǎn)稱GCB,是利用六氟化硫氣體作為滅弧介質(zhì)和絕緣介質(zhì)的一種斷路器。六氟化硫用作斷路器中滅弧介質(zhì)始于20世紀(jì)50年代初,由于這種氣體的優(yōu)異特性,使這種斷路器單斷口在電壓和電流參數(shù)方面大大高于壓縮空氣斷路器和少油斷路器,并且不需要高的氣壓和相當(dāng)多的串聯(lián)斷口數(shù)。在60~70年代,六氟化硫斷路器已廣泛用于超高壓大容量電力系統(tǒng)中。80年代初已研制成功363千伏單斷口、550千伏雙斷口和額定開斷電流達(dá)80、100 千安的六氟化硫斷路器。而如今,它更是廣泛地用在電力領(lǐng)域中,成為了不可或缺的設(shè)備之一。更多 +
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六氟化硫氣體簡(jiǎn)介
一.六氟化硫的歷史 自1900年法國(guó)化學(xué)家摩森(H.Moissan)和李博(P.Lebeau)在實(shí)驗(yàn)室中將硫在氟氣中燃燒以制備六氟化硫(SF6)氣體以來(lái),人們已從中收益非淺。因純SF6氣體的化學(xué)穩(wěn)定性,早期用于進(jìn)行人工治療肺結(jié)核空洞;同時(shí)因其優(yōu)異的絕緣和滅弧性能也倍受人們的關(guān)注。從1940年作為絕緣介質(zhì)開始,迄今已被廣泛地應(yīng)用在電力設(shè)備中,如高壓斷路器、變壓器、互感器、電容器、避雷器、接觸器、熔斷器、管道母等。 二.六氟化硫的物理性質(zhì) SF6作為一種絕緣氣體,具有很多優(yōu)點(diǎn),是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、更多 +
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SF6氣體優(yōu)點(diǎn)、缺點(diǎn)有利有弊
SF6氣體具有優(yōu)良的絕緣性能,抗電強(qiáng)度是空氣的2.5倍, 滅弧性能是空氣的100倍,在0.294Mpa 壓力時(shí)的抗電強(qiáng)度就與變壓器油相近,并且SF6氣體中不含氧氣,不存在觸頭等部位的氧化問(wèn)題;SF6氣體中也沒(méi)有碳元素,使得設(shè)備結(jié)構(gòu)在設(shè)計(jì)上比較自由。 SF6電氣設(shè)備檢修周期長(zhǎng),維護(hù)方便,占用地面和空間體積都小。 用SF6氣體作為絕緣介質(zhì)制成的全封閉組合電器,可以包括斷路器、隔離開關(guān)、 接地開關(guān)、互感器、母線、避雷器等元件。并且高壓帶電部分全密封于鋼更多 +
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