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電子硅烷氣體與半導(dǎo)體行業(yè)的不解之緣

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2024-02-29 10:14:27【
電子硅烷氣體與半導(dǎo)體行業(yè)的不解之緣

硅烷2

首先,我們說的電子級(jí)硅烷氣是什么?

電子硅烷氣是一種特殊的電子氣體,主要由硅粉、氫氣、四氯化硅、催化劑等反應(yīng)蒸餾凈化而成。

純度超過6N的稱為電子級(jí)硅烷氣。

電子硅烷氣體與半導(dǎo)體行業(yè)的不解之緣

電子級(jí)硅烷氣主要用于半導(dǎo)體行業(yè),那么它在這個(gè)應(yīng)用中起到了什么作用呢?

電子硅烷氣是一種不可替代的特殊氣體,主要用于生產(chǎn)顆粒單晶硅、多晶硅、半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等

領(lǐng)域。


電子硅烷氣主要用于半導(dǎo)體中的化學(xué)氣相沉積,主要用于半導(dǎo)體、集成電路等的生產(chǎn)。

電子硅烷氣在集成電路制造中起著關(guān)鍵作用,特別是在半導(dǎo)體薄膜沉積中,是形成薄膜的主要原料之一。

在芯片制造過程中,需要使用各種電子特性氣體,包括硅烷、PH3等摻雜氣體、CF4等蝕刻氣體、WF6等

金屬氣相沉積氣體等反應(yīng)氣體和清洗氣體。


這些特殊氣體廣泛應(yīng)用于硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、蝕刻、離子注射等核心工藝。

在光伏產(chǎn)業(yè)中,電子硅烷氣作用于光伏電池生產(chǎn)減反射膜,對(duì)光伏電池的光吸收效率和電性能有重大影響。

集成電路中硅烷氣的市場(chǎng)情況如何?

2020年,中國(guó)集成電路市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)上升,達(dá)到1445億美元。

但事實(shí)上,2020年,中國(guó)生產(chǎn)了230億美元的集成電路產(chǎn)品,國(guó)內(nèi)對(duì)集成電路的需求依然依賴進(jìn)口,未來還

有很大的改進(jìn)空間。


得益于集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,電子級(jí)硅烷氣的應(yīng)用需求不斷上升,產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景良好。

我國(guó)硅烷所代表的特種氣體市場(chǎng)情況如何?

在全球范圍內(nèi),超過70%的電子特氣應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域,而在中國(guó),這一比例為42%。

雖然目前我國(guó)集成電路本地化進(jìn)程仍面臨諸多挑戰(zhàn),但隨著市場(chǎng)需求的不斷增長(zhǎng)和技術(shù)實(shí)力的提高,電子硅

烷氣在該領(lǐng)域的應(yīng)用有望繼續(xù)增長(zhǎng)。


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