電子氣體國標(biāo)發(fā)布，推動(dòng)半導(dǎo)體制造發(fā)展

2024年上半年，國家標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)頒布了五項(xiàng)電子氣體國家標(biāo)準(zhǔn)：GB/T4371-2024《電子氣體一氧化碳》

GB/T 2024年3月15日頒布了4372-2024年電子氣體二氧化碳和GB/T4373-2024年電子氣體二氧化碳GB

T43762024《電子氣體四氟甲烷》和GB/T4977-2024《電子氣體八氟環(huán)丁烷》 2024年4月25日頒布，

2024年11月1日起正式實(shí)施。
電子氣體是半導(dǎo)體工業(yè)中使用的關(guān)鍵材料，其質(zhì)量和純度直接影響芯片制造的效率和成品率。電子氣體

在蝕刻、沉積、清洗等半導(dǎo)體制造過程中起著至關(guān)重要的作用。電子氣體不僅是半導(dǎo)體制造的基本保證，

也是促進(jìn)科技進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。它被廣泛應(yīng)用，包括晶圓制造、顯示生產(chǎn)和太陽能電池，支

持許多高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
氣相色譜等分析儀主要用于檢測電子氣體的質(zhì)量和純度:
GB/T 4373-2024《電子氣體基硫》
按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 GB/T 28726《氣體分析-氨離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割取樣方法，確定了硫中氫、氧

+氣、氮、一氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫和二硫化碳的含量。
GB/T 43976-2024電子氣體四氟甲烷
按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 GB/T 28726《氣體分析-氨離子氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）取樣方法，確定四氟甲烷

中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟甲烷和三氟甲烷的含量。
GB/T 43977-2024《電子氣體八氟環(huán)丁烷》
按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 GB/T 28726《氣體分析-氨離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）取樣方法測定了氧+氬、

氮、一氧化碳、二氧化碳和六氟丙烯在八氟環(huán)丁烷中的含量。
GB/T 471-2024年電子氣體 -氧化碳》
按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 GB/T 28726《氣體分析-氨離子化氣相色譜法》規(guī)定的一氧化碳中氫、氧+氣、氮、二氧化

碳含量的方法。
GB/T 4372-2024《電子氣體二氧化碳》
按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 GB/T28726《氣體分析-氫離子氣相色譜法》規(guī)定的二氧化碳中氫、氧+氣、氮、一氧化碳

含量的切割進(jìn)樣方法。