稀有氣體是指氬氣、氖氣、氦氣、氪氣、氙氣。由于它們的沸點(diǎn)不同，在空氣中的含量又相差懸殊，所以各組分匯集在精餾塔中的不同部位。

 

氪、氙的沸點(diǎn)最高（在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，氪的沸點(diǎn)為：-152.9攝氏度、氙的沸點(diǎn)為：-108.1攝氏度），隨加工空氣進(jìn)入下塔后，氪、氙均冷凝在下塔液空中。再隨液空經(jīng)節(jié)流閥進(jìn)入上塔，逐板下流匯集于上塔底部的液氧及氣氧中。因此，若想從空分裝置提取氪、氙，通常是將產(chǎn)品氧引入氪塔，用精餾法制取貧氪、氙原料氣。

 

氖的沸點(diǎn)（-245.9攝氏度），氦的沸點(diǎn)（-268.9攝氏度）相對(duì)氦組分要低得多。所以，加工空氣中的氖、氦組分總和低特氣網(wǎng)沸點(diǎn)的氮組分在一起。加工空氣進(jìn)入下塔后，氖、氦組分隨氮組分一起上升到主冷凝蒸發(fā)器的氮側(cè)，氣氮被冷凝，而氖、氦由于沸點(diǎn)低，尚不能冷凝，在主冷中成為“不凝性氣體”。因此，可從主冷氮側(cè)的頂部引出，作為提取氖、氦的原料氣。

 

氬的沸點(diǎn)為-185.7攝氏度，介于氧、氮沸點(diǎn)之間，且接近于氧。進(jìn)入下塔空氣中的氬大部分隨液空進(jìn)入上塔，小部分隨液氮進(jìn)入上塔，在上塔的精餾段和提餾均有氬組分的富集區(qū)。精餾段的上部主要是氮、氬分離。提餾段的下部主要是氧、氬分離。