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高純電子級(jí)氣體下游應(yīng)用都有哪些?
在工業(yè)中,常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的原料,在經(jīng)濟(jì)中發(fā)揮著重要作用。 根據(jù)不同的處理工藝和應(yīng)用領(lǐng)域,它可以分為散裝氣體和特殊氣體。散裝氣體主要包括空氣分離氣體,如氧氣、氮?dú)夂蜌鍤?,以及合成氣體,如乙炔和二氧化碳。氣體純度要求不高,主要用于冶金、石化、煤化工和鋼鐵。特殊氣體有很多種,主要包括高純度氣體、混合氣體等。,主要用于電子、光伏和醫(yī)療等新興行業(yè)。用于制造半導(dǎo)體的電子氣體屬于特殊氣體。 作為特種氣體的一個(gè)重要分支,用于替代大型電子產(chǎn)品的國(guó)內(nèi)更多 +
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電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支
特種電子氣體(以下簡(jiǎn)稱特種電子氣體)是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、平面顯示設(shè)備(LCD、LED、OLED)、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。 電子氣體廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的工藝,如離子注入、蝕刻、氣相沉積、摻雜等。電子半導(dǎo)體器件的性能與電子氣體的質(zhì)量密切相關(guān)。 產(chǎn)業(yè)鏈上下游 工業(yè)氣體工業(yè)的原料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等。其上游產(chǎn)業(yè)為氣體分離和清潔設(shè)備、基礎(chǔ)化學(xué)原料工業(yè)、壓力容器設(shè)備等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、更多 +
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電子級(jí)氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格,您了解嗎?
隨著消費(fèi)電子產(chǎn)品的升級(jí),產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,產(chǎn)品成品率和故障控制越來越嚴(yán)格。整個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。 原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測(cè)限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可以測(cè)量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到0.01μm。 目前,12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的寬度已發(fā)展到45nm。散裝氣體的純度必須在ppt水平,粒度控制直接參考CNC分析儀的下限。實(shí)驗(yàn)室的超亮更多 +
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電子級(jí)氣體大流量、不間斷、穩(wěn)定輸送的發(fā)展趨勢(shì)
電子質(zhì)量氣體具有大流量、連續(xù)穩(wěn)定傳輸?shù)陌l(fā)展趨勢(shì),從而滿足大型量產(chǎn)工廠對(duì)電子質(zhì)量氣體大流量、持續(xù)穩(wěn)定傳輸?shù)囊?,是一個(gè)挑戰(zhàn)。 電子氣體傾向于集中供應(yīng),特殊氣體放置在氣室中。根據(jù)機(jī)器的流量要求合理配置輸送系統(tǒng)的數(shù)量。專用輸氣設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣,并設(shè)計(jì)更多備用設(shè)備。對(duì)于低蒸氣壓氣體(WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等),有必要進(jìn)行氣缸加熱、氣板加熱、管道跟蹤等。考慮到,為了精確控制流量,一般假設(shè)采用高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在空氣源的末端。機(jī)器的氣體消耗點(diǎn)也配有質(zhì)量流量計(jì)更多 +
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介紹電子級(jí)氣體的小知識(shí)
天然氣行業(yè)術(shù)語(yǔ)。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類:純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。根據(jù)純度和用途,電子氣體可分為電子級(jí)、LSI(大規(guī)模集成電路)級(jí)、VLSI(超大規(guī)模集成電路)和ULSI(超大規(guī)模電路)級(jí)。 優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術(shù)發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)材料,特別是在VLSI、LCD器件、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的&ldquo更多 +
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電子級(jí)氣體未來發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)有哪些?
我們都知道電子氣體是危險(xiǎn)的。電子氣體的未來發(fā)展面臨哪些挑戰(zhàn)? 1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴(yán)格:隨著電子消費(fèi)品的升級(jí),產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,對(duì)產(chǎn)品成品率和缺陷的控制越來越嚴(yán)格。整個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測(cè)限(LDL)直接相關(guān)。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可以測(cè)量0.1μm,而核心凝固技術(shù)(CNC)可以達(dá)到0.01μm。 2、流量大,輸送連續(xù)穩(wěn)定:電子氣傾向于集更多 +
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高純氨氣制取的四項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)
高純度氨產(chǎn)品是光電子和微電子技術(shù)不可或缺的支撐材料。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、平板顯示器、太陽(yáng)能電池和大型集成電路的制造。高純度氨的質(zhì)量直接影響材料的光學(xué)和電學(xué)性能,甚至影響設(shè)備的使用壽命。國(guó)內(nèi)外都有巨大的潛在市場(chǎng)。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,對(duì)高純度氨的需求快速增長(zhǎng),高純度電子氣體的國(guó)產(chǎn)化是必然的發(fā)展趨勢(shì)。 高純度氨也是通過有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)生產(chǎn)第三代復(fù)合半導(dǎo)體材料氮化鎵(GaN)的重要支撐材料。MOCVD生產(chǎn)氮化鎵(GaN)要求所用的氨必須是高純度和超清潔的,純度為7N(99.99更多 +
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三氟化氮等特種電子氣體高速發(fā)展
近年來,《中國(guó)制造2025》、《“十三五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問題的通知》等政策扶持,我國(guó)超大規(guī)模集成電路、LCD器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池等產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。與此同時(shí),隨著這些行業(yè)的快速發(fā)展,含氟特殊電子氣體也有了很大的增長(zhǎng)。 常見的含氟特殊電子氣體有六氟化硫(sf6)、六氟化鎢(WF6)、四氟化物(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)。 三氟化氮(NF3)是一種含氟特殊氣體,是市場(chǎng)更多 +
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電子氣體定義及需求分析
根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同,一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。 電子氣體行業(yè)的定義 電子氣體是電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原料,如超大規(guī)模集成電路、平面顯示器、復(fù)合半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等。它們廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。 電子燃?xì)庑枨蠓治? 電子氣體傳輸系統(tǒng)是指電子氣體從氣源端穩(wěn)定傳輸至工藝生產(chǎn)設(shè)備的氣體消耗點(diǎn),無二次污染,并控制工藝所需的流量和壓力等參數(shù),滿足工藝過程的要求,充分保證工藝和產(chǎn)品的安全使用。 根據(jù)中國(guó)報(bào)告廳發(fā)布的報(bào)告,消費(fèi)電子產(chǎn)品更多 +
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常規(guī)供氣系統(tǒng)和簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)
電子氣體是指用于制造半導(dǎo)體、平板屏幕、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等電子產(chǎn)品的基本原材料。廣泛用于清潔、蝕刻、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用包括電子工業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通信、汽車導(dǎo)航和汽車音頻和視頻系統(tǒng)、航空航天等許多領(lǐng)域。基于投資規(guī)模和產(chǎn)品質(zhì)量的不同實(shí)際要求,行業(yè)內(nèi)對(duì)電子輸氣系統(tǒng)的要求基本上有三種類型。我們之前與您共享了一個(gè)大型供氣系統(tǒng),然后與您共享一個(gè)常規(guī)供氣系統(tǒng)和一個(gè)簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)。 常規(guī)供氣系統(tǒng) 傳統(tǒng)供氣系統(tǒng)主要用于4-6英寸大型集成電路系統(tǒng)、50MW以下太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線、LED芯片工藝線等更多 +
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